氨气检测仪的氨气检测仪的原理

检测氨气浓度的检测原理有；

1、半导体——适合检测有没有泄露。具体泄露多少就不是很准。一般价格在1000左右

2、电化学——比较适合工业级的环境的检测。有很多种牌子的。不同的牌子性能不一样。其中以CT的传感器最好。这个原理的产品价格一般会比较大。一般会在2000——5000之间。

买过MDA-X-NH3的电化学原理的氨气检测仪产品，量程0-100ppm的。国家计量院帮我们测试情况如下：

一、精度

1、通入15.9ppm的氨气，显示值15.8ppm

2、通入56.3ppm的氨气，显示值56.8ppm

3、通入93.8ppm的氨气，显示值94.1ppm

精度在1%FS以内

二、反应时间：

立即反应时间：小于2秒

T90时间：通入93.8ppm的气体。氨气检测仪显示值浓度从0ppm涨到94.1ppm需要的时间31.1s

三、回归时间

抽完氨气气体数据从94.1ppm。回归到0所需要的时间是16.7s

四、零点温漂

36摄氏度时。零点显示0ppm

25摄氏度时。零点显示0ppm

10摄氏度时。来电显示0ppm

-5摄氏度时。显示值0ppm

-25摄氏度时。显示值0ppm

零点非常稳定。说明产品有带温度补偿。

看你是用什么方式热处理的了，普通热处理 是不会爆炸的，如果充保护气体 比如 氨气 是可燃气体 就有这样的风险。如下图：

钢管无氧退火炉 用的就是保护气体氨气

就是钢管的保护气体退火炉，要严格安规程 *** 作，不然就有风险。

做Si集成电路的fab里，你列举的这些都用的到。

硅烷和笑气，长氧化硅时候用。

HCL:清洗wafer的时候用。

CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用。

SF6:蚀刻Si的时候用。

其他还有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蚀刻的使用。

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