光刻机灰化

现有的半导体制造工艺中常需要采用掺杂工艺，掺杂时通常需要先在待掺杂的衬底表面上形成光刻胶图形，覆盖不需要掺杂的区域，然后对从光刻胶图形中露出的区域进行掺杂。在掺杂之后，才能采用灰化工艺(ashing)，将光刻胶图形灰化，以便于后续工艺步骤的进行。但是，现有技术中的灰化工艺在灰化光刻胶图形时容易对衬底造成一定程度的影响，例如导致衬底表面产生凹陷。

金属行业 汽车制造 生物医疗 航空航天、电子、半导体行业、LED 、塑料橡胶行业、纺织行业、高分子材料处理等 很多的行业都用的到

等离子处理英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子清洗机，等离子表面改性设备,电浆清洁机,等离子表面处理机,等离子体表面处理设备,等离子蚀刻机,等离子清洗器,等离子清洗仪。电浆清洗机.等离子体材料表面改性处理设备，等离子体表面改性产品。广泛用于等离子清洗,刻蚀,等离子镀,等离子涂覆,等离子灰化和表面改性

等离子处理的优点：

1.环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。

2.广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；

3.温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。6526747

4.功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同时，赋予其一种或多种新的功能；

5.低成本：装置简单，易 *** 作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。

6. 全过程可控工艺：所有参数可由电脑设置和数据记录，进行质量控制。

7. 处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。

我们是国内生产等离子清洗机的企业，技术源于德国，与进口产品功效相差无几，价格便宜的多，联系：010-62226192-819 或是1726526747@qq.com

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