
"E/R" 在晶圆制造中通常代表 "Edge Roll-off / Roundness",即晶圆边缘的滚动偏移和圆润度。晶圆边缘的圆润度对于半导体芯片的性能和可靠性有着重要的影响,因此在晶圆生产过程中需要对其进行严格的控制。背栅的
掺杂。
阈值电压rolloff是背栅的掺杂,背栅的掺杂backgate的掺杂是决定阈值
电压的主要因素。阈值电压(Thresholdvoltage):通常将传输特性曲线中输出电流随输入电压改变而急剧变化转折区的中点对应的输入电压称为阈值电压.在描述不同的器件时具有不同的参数。
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