
- 如果要掺杂成P型半导体可以选择B和BF和In.
-B是最常用的
-In和BF的质量比较大,适合于浅掺杂
-BF中的F可能对HCI或者NBTI等可靠性产生正影响,所以Poly中有一些可能有好处。
-如果选择掺杂成N型半导体可以选择P,As和Sb.
-P是最常用的。
-As质量比P中,通常最为浅掺杂。
-Sb通常最为Buried layer,因为扩散比较慢。
2)然后要选择掺杂浓度
-Well implant一般E13剂量
-Vt implant一般E12剂量
-Source/drain一般E15剂量
半导体是电阻率介于金属和绝缘体之间并有负的电阻温度系数的物质。半导体室温时电阻率约在10-5~107欧·米之间,温度升高时电阻率指数则减小。
半导体材料很多,按化学成分可分为元素半导体和化合物半导体两大类。
锗和硅是最常用的元素半导体;化合物半导体包括Ⅲ-Ⅴ 族化合物(砷化镓、磷化镓等)、Ⅱ-Ⅵ族化合物( 硫化镉、硫化锌等)、氧化物(锰、铬、铁、铜的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物组成的固溶体(镓铝砷、镓砷磷等)。除上述晶态半导体外,还有非晶态的玻璃半导体、有机半导体等。
半导体分为本征半导体和杂质半导体。杂质半导体就是我们制作晶体管用的。阁下学将要学电子的吧,。
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