VOC废气处理用什么设备？

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用什么设备处理VOC有机废气？涉VOCs废气排放的企业，由于行业不同，其排放的VOCs废气成分与浓度各不相同，针对其VOCs废气处理的设备需要根据实际情况出发。常用VOCs废气处理设备有：

催化燃烧设备

催化燃烧设备，是一款高效VOCs净化设备。催化燃烧炉系列（CO、RCO），在催化剂的作用下，采用低温（300℃）催化氧化燃烧技术，将VOCs气体分解成CO2和H2O，完成废气净化。

喷淋塔设备

喷淋塔设备是利用气体与液体间的接触，将气体中的污染物传送到液体中，然后再将清洁气体与被污染的液体分离，达到净化空气的目的。废气经由填充式喷淋塔，采用气液逆向吸收方式处理，即液体自塔顶向下以雾状（或小液滴）喷撒而下。废气则由塔体（逆向流）达到气液接触之目的 此处理方式可冷却废气、去除颗粒及净化VOCs废气气体，再经过除雾段处理后，排入下一处理环节。

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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