1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

无尘净化车间包含6个部分，分别是：1.天花板系统，包含主梁和无尘室顶部部门；2.空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等；3.隔墙板：包括窗户、门；4.地面：比如防静电地面、以及环氧自流平及滚涂地面；5.照明器具：包括日光灯等；6.无尘室之建筑主体构造：一般可以用钢筋或骨水泥，近年来人们发现了更好的主体构造，那就是工业铝型材。无尘净化车间无论选择什么材料做主体都必须要满足：所选材料不会因温度变化与振动而发生裂痕；不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；吸湿性小；为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；今天我们主要介绍工业无尘净化车间，也就是无尘室主要用在哪些行业：由于无尘净化车间对气体和尘埃等的控制所以决定了它可以适用于以下这些行业：精密机械行业、电子行业、航空航天行业、化学行业、光磁产品工业以及电脑零配件生产等行业。

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