半导体废气处理？

半导体废气处理

废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

空气净化器又叫空气清洁器、净化器，它能够吸附、分解、转化空气中的各种污染物，以达到净化空气的作用。那么空气净化器的原理是什么呢?空气净化器工作原理分类上应该分为三大类，请看下文介绍。

一、空气净化器工作原理分类-被动式净化类(滤网净化类)

主要原理是：用风机将空气抽入机器，通过内置的滤网过滤空气，主要能够起到过滤粉尘、异味、有毒气体和杀灭部分细菌的作用。滤网又分：集尘滤网、去甲醛滤网、除臭滤网、HEPA滤网等。其中成本比较高的就是HEPA滤网，它能起到分解有毒气体和杀菌作用，特别是抑制二次污染。

这类产品的特点是风机功能以及滤网的品质决定净化效果，机器的放置以及室内布局影响净化是否完全，室内净化效果不均衡，也难以完全，滤网更换费用较高。产品代表：霍尼韦尔等欧洲品牌。

二、空气净化器工作原理分类-主动净化类(无滤网型)

根据这些产品的主动杀菌原理可分为银离子技术、负离子技术、低温等离子技术、光触媒技术和净离子群离子技术。

第一代，银离子净化技术。简单地说就是把银块离子化吹到空气中以起到杀菌的效果,缺点产品成本高，

细菌杀灭率低，对病毒几乎没有杀灭特性。产品代表：早期的松下空气净化器。

第二代，负离子技术。主要原理是运用静电释放负离子，吸附集中空气中的粉尘起到降尘作用，同时负离子对空气中的氧气也有电离成臭氧的作用，对细菌有一定的杀灭作用，这类产品优点是产品生产成本较低。产品代表：亚都、飞利浦。

第三代，低温等离子技术。主要原理是，通过给气体外加电压至气体的放电电压，使气体被击穿，产生各种强氧化性的低温等离子，并在极短时间内把接触到的污染物分解掉。这种技术一般用于工业废气处理，化学反应后产生二次污染，若要应用到家用空气净化器中，需要做人体安全测试以及相应的二次污染处理技术。

第四代，光触媒技术。光触媒实际是利用半导体在光线的照射下，释放强氧化力的自由基的技术。该技术的优点是产品成本较低，缺点是自由基活性导致其在空气中停留的时间较短，对病毒及细菌的杀灭效果也有限。产品代表：大金。

第五代，净离子群技术。斯帝沃2014年全球专利技术。是一种将空气中的水分子直接电离成H自由基和OH自由基，同时再包裹水分子的技术。OH自由基对病毒和细菌的杀灭率超过臭氧，在空气中停留存在时间也比臭氧长。净离子群离子技术使OH自由基外包裹一层水分子，保持其在空气中的存在时间，同时利用细菌及病毒的倾水性，能够更快速的对细菌及病毒进行杀活作业。

该技术是目前国际公认的医用空间净化技术，也是目前唯一能对甲型H1N1，H1N5禽流感，SARS杀灭率在99%以上的空间净化技术。产品代表：斯帝沃。

三、空气净化器工作原理分类-双重净化类(主动净化+被动净化)

这类净化器主要代表品牌：

(1)斯帝沃(滤网+净离子群技术)。

(2)布鲁雅尔(滤网+负离子技术)。

(3)飞利浦(滤网+负离子技术)。

以上内容是我们为大家介绍的空气净化器的工作原理，希望对大家有帮助。如需了解更多的空气净化器知识，请继续关注。

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

RTO蓄热式焚烧炉设备，简称“RTO设备”，是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气，虽然采用高温700℃的温度进行废气处理，但其实消耗的能源并不多，这是因为设备能够将热能回收利用，大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。

希望此次回答对您有所帮助！

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