半导体元件贴膜有气泡怎么办？我们的是高端产品

当保护膜贴附完成后, 若于贴膜面产生气泡, 则容易导致元件的损伤报废或是影响后制程的品质. 如保护膜/保护胶剥离或者打印内容不完整。

高端产品用ELT真空压力除泡系统. 先将保护膜预热之后, 于真空环境下让保护胶平整的贴附于物件表面, 再以加压加热方式烘烤, 完成品表面无气泡发生。

半导体研磨区域有气泡的原因是时间把握不同。在生产过程中温度的把握和玻璃氧化，时间把握不同，会造成成玻璃溶液的粘力，表层的张力使外部气体进入影响溶解力度，导致气泡出现。当气泡产生后没有及时的冷却硬化使气泡破灭，气泡就会被遗留在玻璃中。

氮气是保护气体，防止工艺过程中发生氧化，主要是在合金烧结时或者高温导热胶固化时应用，氢气有还原性，可以使氧化层还原，但是氢气有一定危险性，我知道用得较多的是氮氢混合气体，这样安全些，二氧化碳，这个不了解压缩空气，主要是用在工艺过程中，比如工作台的吸附，一些设备必须有压空才能工作。了解得不多，希望有帮助

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