半导体芯片中化学过滤器过滤什么气体

在半导体芯片厂，特别是12英寸的晶圆厂，会使用化学过滤器，化学过滤器一般分为三种，除酸性气体（SO42-、F-、CL-、NO3-、CHCOO-、HCOO-等）、除碱性气体（NH3,NMP等）和除有机物（TVOC),祛除的气体不同选择的化学过滤材料也不相同。祛除气体的浓度不同化学过滤器的寿命也不相同。。。。。上海宣拓

半导体酸排的浓度是多少在50到1000mg/m3之间。半导体企业废气分为酸性排气、碱性排气、有机废气、砷排和一般排气等。酸性废气采用碱液洗涤塔，废气与氢氧化钠吸收液进行气液两相充分接触吸收中和反应。

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