半导体车间里为什么会有甲烷气体？

甲烷是无色无味的气体，家用天然气（主要成份是甲烷）因混有臭味剂四氢噻吩而有味道。

而半导体车间（特别是新材料）一般是混有氯化氢、氨气等气体，而具有刺激性气味。

NO是一氧化氮。一氧化氮，是一种氮氧化合物，氮的化合价为+2，无色无味，难溶于水。一氧化氮常用于半导体生产中的氧化、化学气相沉积工艺，并用作大气监测标准混合气。

NO是什么气体

一氧化氮用于制造硝酸和硅酮氧化膜及羰基亚硝酰，也用作人造丝的漂白剂及丙烯和医学药剂。

一氧化氮的产生大致分为2种，一种是酶生性一氧化氮，另一种是非酶生性一氧化氮。研究结果表明，一氧化氮可以产生于人体内多种细胞。

一氧化氮具有强氧化性，与易燃物、有机物接触易着火燃烧，遇到氢气爆炸性化合，接触空气会散发出棕色有酸性氧化性的棕黄色雾。

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