半导体metro是什么工艺

metro是metrology的简称，是半导体芯片过程工艺控制的一种，在前道测试设备也称作过程工艺控制中（Semiconductorprocesscontrol），可以进一步细分为缺陷检测（inspection）和量测（metrology）主要进行物理和功能性方面的测试，在晶圆生产过程中，每完成一步工艺都需要用相应的测试设备来检测产品良率和缺陷。

FEOL，完整的是：front end of the line (processes) ，意思是生产线前道工序，前工序生产线。其中OL就是of the line，可以理解为生产线。

一般说的前道工序是指制衣的前道工序，是为后一道工序做好充分准备的工作内容。而FEOL指的是生产线的工序，不局限于制衣。

生产线就是产品生产过程所经过的路线，即从原料进入生产现场开始，经过加工、运送、装配、检验等一系列生产活动所构成的路线。生产线是按对象原则组织起来的，完成产品工艺过程的一种生产组织形式，即按产品专业化原则，配备生产某种产品（零、部件）所需要的各种设备、工人，负责完成某种产品（零、部件）的全部制造工作。

chuck 是在半导体制造和封测过程中使用夹具治具fixtures和各种工装的统称，也是个工序dechuck就是除去卸下排除chuck的动作工序以上工序在国际上的半导体行业均为自动化作业

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