半导体蚀刻 POLY主要成分是什么

半导体蚀刻 POLY主要成分是什么,第1张

POLY产品主要原料由以下物料组成:1、POLY油(即树脂)分软POLY和普通两种,POLY油是产品中的主要成分.2、石膏粉(化学名Caco3),与POLY油混合比例约为10:8.3、彩绘油漆,主要有平光与亮光漆之分.4、各种表面处理液:...

首先你的主要工作方向设备,下面是个人认为的发展方向:

1、学习 *** 作,深入与一线员工学习,沟通,了解他们想要的是什么,他们的需求是什么?

2、学习设备说明书,一般,美国人的设备说明书非常的详细,从 *** 作手册学起;

3、学会彻底的修复设备(指的是不要加固以下将就着用的那种);

4、统计异常出现的情况,从根本上(指的是要从设计上、源头上)避免异常出现-改造设备!

记住:一线员工是你维修、维护、改造思想的源泉,是你的上帝!

5、你想要买书的话,没什么必要,英文的说明书就是最好的教材了!

字面意思直译就可以,金属刻蚀,poly刻蚀,氧化物刻蚀。具体工艺条件无法回答,只能简单的说,这3中刻蚀在半导体行业都是干法刻蚀,也就是dry etch。主要区别在于所有的刻蚀气体不一样,比如,金属刻蚀用CL2,氧化物刻蚀用C4F6,C5F8。


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