简述光刻加工的特点

1.各向异性蚀刻，即只有垂直蚀刻，没有水平底切。 这样，可以确保与抗蚀剂上的几何图形完全一致的几何图形可以精确地复制在蚀刻膜上。 2.良好的蚀刻选择性，即，对用作掩模的抗蚀剂和其