在半导体技术中 MET&DR 中文代表什么意义

MET：应该是 metal 或者 metalize 的缩写，是金属化的意思 DR：可能是 dry的缩写，是干燥的意思 半导体制程中，MET多应用于晶圆制造厂，DR的话，则很多process都会应用到

刻蚀技术可分为湿式刻蚀(wet etching)和干式刻蚀(dry etching)两种技术。第五章中已经对湿式刻蚀进行了较详细的介绍。湿式刻蚀具有待刻蚀材料与光阻及下层材质良好的刻蚀选择比（selectivity）。然而，由于化学反应没有方向性，因而湿式刻蚀是各向同性刻蚀。当刻蚀溶液做纵向刻蚀时，侧向的刻蚀将同时发生，进而造成底切（Undercut）现象，导致图案线宽失真。

---