
空气洁净度等级:
洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。国内按空态、静态、动态对无尘车间进行测试、验收,符合《GB50073-2013 洁净厂房设计规范》、《GB50591-2010 洁净室施工及验收规范》。
洁净度和控制污染的持续稳定性,是检验无尘车间质量的核心标准,该标准根据区域环境、洁净程度等因素,分为若干等级,常用的有国际标准和国内区域行业标准。
ISO14644-1国际标准—空气洁净度等级划分
GB50073-2013 国家标准—空气洁净度等级
中国GMP(2010年修订)
新版GMP附录1 无菌药品.第三章.第九条……洁净区各级别空气悬浮粒子的标准规定如下:
各国洁净度等级近似对照表
无尘车间(洁净室)等级说明:
等级定义的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是无尘室的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm , 0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。这样可以减少纷争,以下是几个例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一个粒径即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多几个粒径。
第二个技巧是规定无尘室的状态,例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供货商就很清楚知道无尘室要在At-rest状态下验收。
第三个技巧是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘室都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
这样做的目的是确保无尘室在Operational状态时,依然有足够的微粒控制能力。
洁净室案例图集:
1、半导体行业:
黄光车间多建在百级洁净区,千级洁净区也有涉及
2、半导体洁净室(高架地板)常应用于百级和千级区域:
3、常规半导体洁净室(洁净区:万级至十万级):
4、常规洁净室:
无尘车间的等级一般分为:一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级。以千级无尘车间为例:千级无尘车间要求室内0.5um的容许粒子浓度小于35200(pc/m)。1、一级无尘车间主要适用于制作集成电路的微电子工业,对集成电路的精准需求为亚微米。2、十级无尘车间多用于带宽小于2微米的半导体行业。3、百级无尘车间在医疗领域多适用于对洁净要求高的手术区域。4、千级无尘车间主要用于高质量光学产品的生产研发与安装测试。5、万级无尘车间主要用于液压设备或气压设备的安装,同时也能用于食品加工行业。6、十万级无尘车间多用于工业部门,如光学商品的制作等。医药工业也常常采用该等级无尘室。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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