
德国Exyte集团提供卓越的设计、工程和施工服务,是交付高科技设施和厂房的全球先锋。公司拥有超过100年历史,早已在可控和受控环境方面具备特殊的专业技术。
Exyte集团是全球领先的,为高科技设施和大型复杂项目提供设计、工程和施工服务的领导者。百余年来,我们一直处于环境控制领域技术前沿。Exyte集团服务于半导体,生命科学和数据中心等高科技等行业,提供从设计到交钥匙工程的全面项目管理解决方案。(如:美光,华力,默克,拜耳,华为等)Exyte集团业务遍及全球20余国家,致力于为世界各地的客户提供专业服务。截至2017年,公司销售额超过24亿欧元,拥有超过4800余名积极专业的员工。
半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。
对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗
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