
声
表面波器件之波速和频率会随外界环境的变化而发生漂移。气敏传感器就是利用这种性能在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某
气体的气敏薄膜,当该气敏薄膜与待测气体相互作用(化学作用或生物作用,或者是物理吸附),使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时,引起压电晶体的声表面波频率发生漂移;气体浓度不同,膜层质量和导电率变化程度亦不同,即引起声表面波频率的变化也不同。通过测量声表面波频率的变化就可以准确的反应气体浓度的变化。
半导体气敏传感器是利用
半导体与气体接触后其特性发生变化的机理,把被测气体的成分和浓度等信息转换为电信号的传感器,它由气敏元件和测量电路两部分组成。半导体气敏元件:按照半导体与气体的相互作用主要是仅局限于半导体表面还是涉及到半导体内部,可分为表面控制型和体控制型。按半导体变化的物理特性可分为电阻型和非电阻型两种。
去我的空间看图吧。我上传几张原理图。在仪器仪表 传感器类中找就行了。
还有传感器的厂家。
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