1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

这方面的内容我更建议你直接联系EPC工程（总承包）集成服务商，专业的公司会先实地考察，了解企业的具体需求，才会给出合理的方案。毕竟半导体无尘车间除了装饰装修施工有自己的重点难点外， 洁净技术的难度更大。净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统（含特种气体供应等）及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等内容都各有讲究。像我们公司之前找上海CEIDI西递总包承建，设计师也是先过来确认场地以及基本信息后才给方案的，三天就能出平面方案，一周后出深化方案。百度也查得到的

制定净化车间施工程序表：建设净化车间有先后的顺序，杜绝哪部分材料先到就先施工哪部分的极端错误做法，避免污染。允许同时施工的各部分要注意彼此间的衔接关系，必要时应绘制施工二次设计图。

高效过滤器的安装：净化车间安装高效过滤器之前，应彻底做好清洁工作，净化送、回风系统连接试运行24小时后，再次清洁洁净室后，立即安装高效过滤器。

洁净送、回风系统风管的施工：风管内表面必须平整光滑，风管安装之后、保温之前应进行漏风检查。风管与部件支、吊架的预埋件、射钉或膨胀螺栓的位置应正确，牢固可靠，埋入部分应去除油污，并不得涂漆。

设置专用仓储间：所有材料和设备说明书和合格证均应妥善保管，以便竣工验收后将资料完整的移交给用户。设备和材料到达净化车间施工现场时，应严格检查，各种过程器开箱检查后应重新封存。

做好净化车间的密封工作：洁净车间的气流要有序流动，按照设计者的意图流动，不该漏的地方绝对不能漏。很多人认为净化车间施工时为了平衡新风，要排掉一部分室内的空气，漏一点也无所谓，这种观点是不可取的。

其他事项：净化车间施工前对原有的建筑进行彻底的清扫和修补工作，对原有的门窗要做好密封工作。洁净车间超纯水和超纯气系统的安装必须请有资质的专业人员进行。

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