
程序文件是在质量管理体系中质量手册的下一级文件层次,规定某项工作的一般过程。再下一级文件层次是作业指导书。程序文件存储的是程序,包括源程序和可执行程序。这里的程序与计算机技术中的程序并不相同,程序在这里指是为完成某项活动所规定的方法。质量体系程序文件对影响质量的活动做出规定是质量手册的支持性文件;应包含质量体系中采用的全部要素的要求和规定;每一质量体系程序文件应针对质量体系中一个逻辑上独立的活动。
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使光刻胶溶于有机溶剂中,从而达到去胶的目的。有机溶剂去胶中使用的溶剂主要有丙酮和芳香族的有机溶剂。无机熔液去胶的原理是利用光刻胶本身也是有机物的特点(主要由碳和氢等元素构成的化合物),通过使用一些无机溶剂(如硫酸和双氧水等),将光刻胶中的碳元素氧化称为二氧化碳,这样就可以把光刻胶 从硅片的表面除去。不过,由于无机熔液会腐蚀AL,因此去除AL上的光刻胶必须使用有机溶剂。 干法去胶则是利用等离子体将光刻胶去除。以使用氧等离子为例,硅片上的光刻胶通过在氧等离子体中发生化学反应,生成的气态的CO,CO2和H2O可以由真空系统抽走,相对于湿法去胶,干法去胶的效果更好,但是由于干法去胶存在反应残留物的玷污问题,因此干法去胶与湿法去胶经常搭配使用。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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