HAP40是什么材质

主要特性

日立金属HAP40是日立研发生产的含钴CO粉末高速钢.极高的硬度, 耐磨性与韧性兼备的泛用型高速钢. 适合制造所有的切削工具,适合大量生产的冲压模具用钢. HAP40钢种具有极好的耐磨性和韧性，优于其他高合金的冷作钢。

HAP40的主要特性：

·良好的磨削性能

·良好的热处理尺寸稳定性

·良好的韧性

·良好的红硬性

·良好的耐磨性

主要用途

HAP40的主要用途：

HAP40是一种含钴的高速钢。适合制作多刀刃的刀具，

例如：麻花钻，铰刀、丝锥、铣刀，拉刀、滚刀及成型刀具等；单刃刀具如刀具、切断车刀和成形刀具等。

HAP40也适用于制作一般要求的单刃刀具。HAP40也适合作为对耐磨性有严格要求的冷作模具。

例如：冲孔，成形，冲压模等。

3.HAP40化学成分(%质量):C 1.30 Cr4.0 W6.0 MO5.0 V3.0 Co 8.0

4.参考相对应牌号:美国AISI标准钢号A30,日本不二越NACHI标准钢号FAX40,奥地利百禄BOHLER标准钢号S590,瑞典一胜百ASSAB钢号ASP30。

5.低温淬火、回火规范: 温度1160～1190℃,回火温度560～580℃,硬度64～66HRC。

6.高温淬火、回火规范: 温度1190～1210℃,回火温度560～580℃,硬度66～68HRC。

第一名：布勒（中国）投资有限公司（莱宝）

每天，数以亿计的人们都在享用布勒技术，以满足自己在食品、移动设备或通讯方面的日常所需。布勒的加工技术和解决方案，在关注食品安全的同时，为供养世界人口做出了重大贡献。在全球小麦、玉米、大米、意大利面、巧克力和早餐谷物食品的生产和加工领域，布勒同样做了重大贡献。此外，布勒不仅可为高压铸造和表面涂层技术提供全球领先的解决方案，同时也关注着汽车以及光学技术领域的最新应用。作为技术领先的集团公司，布勒每年投入用于研发的经费是其营业额的5%。截至2017年，布勒业务遍布140多个国家和地区，全球11，000名员工贡献了27亿瑞士法郎销售额。作为一家家族企业，布勒非常重视可持续发展。我们希望客户取得成功。我们希望全人类都能享用安全食品。我们希望通过新能源汽车、节能建筑和节能机械来保护气候环境。

第二名：爱发科真空技术（苏州）有限公司（爱发科）

爱发科真空技术（苏州）有限公司是世界著名的真空设备制造商“株式会社ULVAC（爱发科）”在中国投资兴建的全资公司，于2003年7月在苏州工业园区设立，总投资10，350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供世界领先的先进设备。

公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、售后服务等方面的综合优势，受到广大客户的一致好评和厚爱。

爱发科真空技术（苏州）有限公司今后仍将依托中国客户，除了继续在电子、半导体制造设备方面扩大设备种类和提高生产台数，更会从2012年开始，在世界上首次将大型平板液晶显示器(FPD)制造设备、太阳能电池制造设备引入到苏州进行生产。我们将继续致力于为客户提供满意的产品，以优异的品质及良好的售前售后服务，为用户创造价值，为中国高科技产业的发展以及经济社会的发展尽自己的绵薄之力。

第三名：勤友企业股份有限公司（勤友）

自1974年成立以来，勤友秉持着诚信与负责的信念，代理销售欧、美、日等国的精密工具、量测设备、光学仪器，非破坏性检测系统、半导体检测设备、液晶面板制造检查设备、及环保设备等，持续朝向提供客户更多元、完整的产品与服务的目标前进。

为因应日渐明确的市场趋势和客户需求，2013年投资成立半导体/光电制程设备，分割光电事业群旗下所属制造、研发等业务，除纳入原台南厂区，并增设含无尘室在内的桃园厂区。主要产品为大型连续式镀膜设备、卷绕式(Roll to Roll)镀膜设备，以及与IBM共同开发的晶圆暂时贴合及雷射剥离设备。其创新改良的研发成果，更于2014、2015年连续获得“杰出光电产品奖”的肯定。

勤友长年投入于制造、工业检测的产品应用，不仅累积量测技术的核心know how，所服务的客户亦遍及光电、塑化、汽车、航太、通讯、军事、教育等…领域，除掌握先进的制程技术，加强人员教育训练外，并持续开发新产品，以满足客户多样化的需求与服务，提升企业整体竞争力。

成立四十一年来，在受到原厂信赖、客户长久的支持下，除台北总公司外，于新竹、台中、台南、高雄、大陆苏州太仓、昆山等地设立服务据点，在严峻的产业环境下，希望协助客户快速处理问题，提供适当的解决方案，并深切期许能和客户共同成长、迎向未来新的挑战。

第四名：江门市新会亿霖金属制品有限公司（亿霖）

江门亿霖创立于1998年，专注于为厨卫行业提供精密铜制品零部件配套。

工厂位于“中国侨乡之都”—江门新会，拥有占地11亩的厂区及生活区，在职员工120多人，其中工程师8名，技术人员10多名。

工厂经历多年行业的累积与沉淀，不断发展整合，充分具备了铜锻造、机加、冲压、表面抛光、电镀、表面拉丝及PVD真空镀膜等加工及过程管控能力。工厂拥有小型加工中心、CNC精密数控车床30台、CNC精密车铣复合机10台、自动液压床10台及多弧离子真空镀膜机2台等设备和配备投影仪、膜厚测试仪等先进检测仪器以确保质量稳定。

我们根据不同的客户需求或市场要求订做生产，主要提供以下材质：低铅铜、无铅铜、欧标铜(CW614N，CW617N)、国标铜（Hpb59-1）、DR抗脱锌铜(CW603N)等。

亿霖公司始终坚持“以客户为中心，为客户创造价值！”的经营信念，以“成为世界国际大品牌卫浴的优秀配套厂商”的企业目标及发展方向！

公司不断地深化系统改善，以推进ISO9001：2000为依据不断提高品质管控体系！重合同﹑守信誉，竭诚欢迎国内外客户莅临指导，来电洽谈业务，我们将与您真诚合作，携手前行，共谋发展，共创美好明天！

第五名：纳峰真空镀膜（上海）有限公司（纳峰）

纳峰集团成立于1999年，是由新加坡南洋理工大学衍生发展起来的高新科技公司。纳峰主要产品是真空镀膜服务及真空镀膜设备。目前总部设在新加坡（NTI），在中国上海（NVC和NRET）和日本东京（NTJL）也设有分公司，目前全球员工约1200人。

由于纳峰科技具有世界先进的真空镀膜和真空设备制造技术，我们目前涉足的镀膜服务领域非常广泛，大到太阳能光伏技术、高科技数据存贮领域，小到刀具、模具、手机配件，以及其他电子消费品都可以通过我们的镀膜技术，无论在性能上或是外观方面，得到显著的改进，并实现生产成本的降低和产品质量的飞跃。

目前，一些纳峰镀膜产品也已经成功打入工业应用领域，成为业内工业指标。业内的认可是我们不断进取的动力，更是纳峰不断成长，拓展业务不可或缺的支持和动力

FCVA过滤阴极真空弧镀膜技术是纳峰集团的核心技术。此科技成功获得了许多与真空镀膜相关的世界专利。FCVA过滤阴极真空弧在工业界的应用首先开始与硬盘驱动器磁头的保护膜。到目前为止，纳峰在该产业已经占据了70%以上的市场份额。

纳峰要在PVD镀膜技术上成为市场的领导者。我们会成为客户在技术上的可靠合作伙伴。通过不断的研发和创新，纳峰帮助客户在和他们的竞争对手中脱颖而出。

第六名：大连维钛克科技股份有限公司（维钛克）

大连维钛克科技股份有限公司（维钛克股票代码：831729），股改于2014年5月，前身是成立于2003的大连远东真空技术有限公司，隶属于大连远东企业集团，专业从事各种真空离子镀膜设备的研发、制造与销售及镀膜服务的高新技术企业。公司拥有从真空腔室的制造到设备的安装调试完整的现代化数控加工设备和检测仪器，利用多项独有专利技术，确保设备各项性能的自主控制，提供全方位的镀膜交钥匙工程。

我公司生产的离子镀膜设备广泛应用于工业级工具、模具表面超硬离子涂层，替代电镀的高档装饰涂层，机械零部件（如汽车零部件，航空及燃气轮机等）的耐腐蚀和高强度涂层，led新节能发光体涂层，太阳光热发电集热管涂层及薄膜硅半导体光浮玻璃涂层等。我们研发中心和多所著名大学材料试验室建立稳固的合作关系，为设备和工艺的不断改进提供了有力的保障。尤其在硬质高强度耐磨性膜系和超厚（可达到50-80微米）膜系方面，我们一直引领市场发展，不断更新技术，满足客户及市场需求。

第七名：上海沈菱冷冻设备有限公司（沈菱）

上海沈菱冷冻设备有限公司十多年来专业生产，销售，服务各类制冷，冷冻设备。以质量为根本，完善服务为基础，诚信敬业做人，长期致力于冷水机事业。工厂位于美丽的昆山市，环靠上海，苏州，立足于根，稳步进取！

公司产品分为水冷式，风冷式精密冷水机，冷水机组，低温冷水机，非标冷水机等十多个品种，产品使用于全国各地众多企业，并得到客户的高度认可。

公司具有较强的设计研发能力，拥有专业有素的员工团队，具备齐全的生产设施，全面有效的质量控制体系，先进的生产制造工艺水平和能力，充分满足市场的不同需求。公司产品广泛应用于真空，激光，电子，塑胶，医药，奶制品，电镀，光伏，SMT制造，中高频淬火机床，热处理与焊接，医疗机械等行业。

第八名：东莞市华晨真空科技有限公司 （华晨）

东莞市华晨真空科技有限公司是一家面向全球专业真空金属镀膜（PVD)加工，高级金属表面处理服务的标准化生产加工企业。

工厂设在中国东莞大岭山镇颜屋村第一工业区，紧邻107国道和龙大高速，现有生产厂房10000多平方米，技术引用的是当今世界最先进的中频孪生磁控溅射离子镀膜技术以及电弧蒸发技术。

产品性能保证方面配有盐雾测试机、耐磨测试仪、标准对色箱、X射线测厚仪、数码显微镜、AA光谱分析机、金属膜厚仪等齐全的检测设备为产品提供全方位可靠性能检测。

成立以来，公司一直以：“本分经营，品质为先”的经营理念，以快速高效的服务赢得市场和客户认可。在客户服务中，我公司以市场为前沿向导，以高品质产品为核心竞争，以本分诚信为理念，深得客户信任，现已与国内外众多知名公司建立合作伙伴关系并提供高品质的真空镀膜服务。

我公司规模不断扩大，在今后发展中继续为客户创造价值，逐步完善以“高速度优质的售前、售后服务”“一流的技术工艺”“高品质产品输出”三体合一的方位为客户服务，将华晨真空打造成行业最优秀的真空表面处理企业。

第九名：昆山英利悦电子有限公司（英利悦）

昆山英利悦电子有限公司成立于2012年12月份，是一家独资企业，位于百强县级市之首昆山市，地处苏州及上海交界处，交通便利、环境优美。公司生产面积约4000平方米，采用磁控离子溅射镀及多弧离子镀等先进绿色环保真空镀膜工艺主要致力于3C行业及五金件类的PVD真空镀膜，其可以在各种五金材料的工件（基体）上镀制出各种膜层，以达到不同的性能要求和外观效果；目前拥有7台具备先进工艺配置的真空镀膜设备，主要从事电子产品、医疗器件、汽车配件、运动器材等五金产品表面PVD加工服务，膜层以装饰镀和功能膜（DLC)为主；加上与其相配套的喷砂、镭雕、激光焊接、研磨抛光等生产设备，使生产能力不断得到提升并提供优质的产品。

管理团队是由能力出众、年富力强、技术出色的专业人士组成，具有15年以上的相关镀膜行业从业经历；拥有全面的管理、销售、市场开拓经验并深知材料和镀膜加工行业，技术力量雄厚；公司在车间设计时就选择高于同行的标准无尘车间，打造华东一流的PVD镀膜车间。

公司经过这几年的发展，目前员工高峰时多达80人左右，现有技术人员9名，品管人员3名，管理人员5名；公司以品质要求高于一切、提供高品质的产品及优质的服务已赢得广大客户的青睐，目前客户除了国内遍布长三角地区及北京、天津外，国外客户主有美国、英国、澳洲等；公司现主要为:联想、HTC、华为、三星、OPPO、苹果、小米、谷歌、诺基亚及国外一些奢侈品等品牌上的相关配件提供镀膜加工服务。

第十名：深圳森丰真空镀膜有限公司（森丰）

深圳森丰真空镀膜有限公司创立于1998年，是一家面向全球的真空镀膜加工企业。公司镀膜加工业务涉及钟表、珠宝、手机、飞机零配件、工模具等领域，在装饰膜及功能膜的真空镀膜上有着成熟的工艺技术和丰富的生产经验。经过十多年的发展，森丰公司在生产规模和技术上均处于行业领先地位，2008年，公司被深圳市评为“高新技术企业”，在管理团队建设上，我们不断引进高学历、高水平人才，加强与名校合作，大专以上学历管理人员已占百分之九十以上。伴随着公司的发展壮大，一批懂得沟通、善于执行、乐于奉献、富有凝聚力与创造力的管理人员已然成长起来了。

在技术开发方面，以清华大学毕业博士生为骨干组建一支勇于开拓的研发团队，对镀膜设备和工艺不遗余力探索，并与著名同行企业如美国AE公司、香港生产力促进局及名牌高校如清华大学、北京大学等进行广泛交流。公司先后获得了2项国家发明专利和8项实用新型专利。

森丰目前在中国大陆有两大事业部(森丰钟表事业部和森科3C产品事业部)，总部设在深圳钟表产业集聚基地。公司在香港设有市场营业部，面向全球客户提供市场服务；本公司竭诚为广大客户提供优质、快捷的真空镀膜服务。我们一直秉承“正直、勤奋、感恩、进步”的企业精神，不断提升公司的技术能力和管理水平，致力于将森丰打造成全亚洲最具竞争力的真空镀膜加工企业。

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超硬材料薄膜涂层研究进展及应用

摘要：CVD和PVD TiN，TiC，TiCN，TiAlN等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用，但仍然不能满足许多难加工材料，如高硅铝合金，各种有色金属及其合金，工程塑料，非金属材料，陶瓷，复合材料(特别是金属基和陶瓷基复合材料)等加工要求。正是这种客观需求导致了诸如金刚石膜、立方氮化硼(c-BN)和碳氮膜(CNx)以及纳米复合膜等新型超硬薄膜材料的研究进展。本文对这些超硬材料薄膜的研究现状及工业化应用前景进行了简要的介绍和评述。

关键词：超硬材料薄膜；研究进展；工业化应用

1 超硬薄膜

超硬薄膜是指维氏硬度在40GPa以上的硬质薄膜。不久以前还只有金刚石膜和立方氮化硼(c-BN)薄膜能够达到这个标准，前者的硬度为50-100GPa(与晶体取向有关)，后者的硬度为50～80GPa。类金刚石膜(DLC)的硬度范围视制备方法和工艺不同可在10GPa～60GPa的宽广范围内变动。因此一些硬度很高的类金刚石膜(如采用真空磁过滤电弧离子镀技术制备的类金刚石膜(也叫Ta：C))也可归人超硬薄膜行列。近年来出现的碳氮膜(CNx)虽然没有像Cohen等预测的晶态β-C3N4那样超过金刚石的硬度，但已有的研究结果表明其硬度可达10GPa～50GPa，因此也归人超硬薄膜一类。上述几种超硬薄膜材料具有一个相同的特征，他们的禁带宽度都很大，都具有优秀的半导体性质，因此也叫做宽禁带半导体薄膜。SiC和GaN薄膜也是优秀的宽禁带半导体材料，但它们的硬度都低于40GPa，因此不属于超硬薄膜。

最近出现的一类超硬薄膜材料与上述宽禁带半导体薄膜完全不同，他们是由纳米厚度的普通的硬质薄膜组成的多层膜材料。尽管每一层薄膜的硬度都没有达到超硬的标准，但由它们组成的纳米复合多层膜却显示了超硬的特性。此外，由纳米晶粒复合的TiN／SiNx薄膜的硬度竟然高达105GPa，创纪录地达到了金刚石的硬度。

本文将就上述几种超硬薄膜材料一一进行简略介绍，并对其工业化应用前景进行评述。

2 金刚石膜

2．1金刚石膜的性质

金刚石膜从20世纪80年代初开始，一直受到世界各国的广泛重视，并曾于20世纪80年代中叶至90年代末形成了一个全球范围的研究热潮(Diamond fever)。这是因为金刚石除具有无与伦比的高硬度和高d性模量之外，还具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、声学、电化学性能(见表1)和极佳的化学稳定性。大颗粒天然金刚石单晶(钻石)在自然界中十分稀少，价格极其昂贵。而采用高温高压方法人工合成的工业金刚石大都是粒度较小的粉末状的产品，只能用作磨料和工具(包括金刚石烧结体和聚晶金刚石(PCD)制品)。而采用化学气相沉积(CVD)方法制备的金刚石膜则提供了利用金刚石所有优异物理化学性能的可能性。经过20余年的努力，化学气相沉积金刚石膜已经在几乎所有的物理化学性质方面和最高质量的IIa型天然金刚石晶体(宝石级)相比美(见表1)。化学气相沉积金刚石膜的研究已经进人工业化应用阶段。

表 1 金刚石膜的性质

Table 1 Properties of chamond film

CVD 金刚石膜

天然金刚石

点阵常数 (Å)

3.567

3.567

密度 (g/cm3)

3.51

3.515

比热 Cp(J/mol,(at 300K))

6.195

6.195

d性模量 (GPa)

910-1250

1220*

硬度 (GPa)

50-100

57-100*

纵波声速 (m/s)

18200

摩擦系数

0.05-0.15

0.05-0.15

热膨胀系数 (×10 -6 ℃ -1)

2.0

1.1***

热导率 (W/cm.k)

21

22*

禁带宽度 (eV)

5.45

5.45

电阻率 (Ω.cm)

1012-1016

1016

饱和电子速度 (×107cms-1)

2.7

2.7*

载流子迁移率 (cm2/Vs)

电子

1350-1500

2200**

空隙

480

1600*

击穿场强 (×105V/cm)

100

介电常数

5.6

5.5

光学吸收边 (□ m)

0.22

折射率 (10.6 □ m)

2.34-2.42

2.42

光学透过范围

从紫外直至远红外 ( 雷达波 )

从紫外直至远红外 ( 雷达波 )

微波介电损耗 (tan □)

＜ 0.0001

注:*在所有已知物质中占第一,**在所有物质中占第二,***与茵瓦(Invar)合金相当。

2．2金刚石膜的制备方法

化学气相沉积金刚石所依据的化学反应基于碳氢化合物(如甲烷)的裂解，如：

热高温、等离子体

CH4(g)一C(diamond)+2H2(g) (1)

实际的沉积过程非常复杂，至今尚未完全明了。但金刚石膜沉积至少需要两个必要的条件：(1)含碳气源的活化；(2)在沉积气氛中存在足够数量的原子氢。除甲烷外，还可采用大量其它含碳物质作为沉积金刚石膜的前驱体，如脂肪族和芳香族碳氢化合物，乙醇，酮，以及固态聚合物(如聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯)，以及卤素等等。

常用的沉积方法有四种：(1)热丝CVD；(2)微波等离子体CVD；(3)直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)；(4)燃烧火焰沉积。在这几种沉积方法中，改进的热丝CVD(EACVD)设备和工艺比较简单，稳定性较好，易于放大，比较适合于金刚石自支撑膜的工业化生产。但由于易受灯丝污染和气体活化温度较低的原因，不适合于极高质量金刚石膜(如光学级金刚石膜)的制备。微波等离子体CVD是一种无电极放电的等离子体增强化学气相沉积工艺，等离子体与沉积腔体没有接触，放电非常稳定，因此特别适合于高质量金刚石薄膜(涂层)的制备。微波等离子体CVD的缺点是沉积速率较低，设备昂贵，制备成本较高。采用高功率微波等离子体CVD系统(目前国外设备最高功率为75千瓦，国内为5千瓦)，也可实现金刚石膜大面积、高质量、高速沉积。但高功率设备价格极其昂贵(超过100万美元)，即使在国外愿意出此天价购买这种设备的人也不多。直流电弧等离子体喷射(DC Arc P1asma Jet)是一种金刚石膜高速沉积方法。由于电弧等离子体能够达到非常高的温度(4000K-6000K)。因此可提供比其它任何沉积方法都要高的原子氢浓度，使其成为一种金刚石膜高质量高速沉积工艺。特殊设计的高功率JET可以实现大面积极高质量(光学级)金刚石自支撑膜的高速沉积。我国在863计划"75”和"95”重大关键技术项目的支持下已经建立具有我国特色和独立知识产权的高功率De Are Plasma Jet金刚石膜沉积系统，并于1997年底在大面积光学级金刚石膜的制备技术方面取得了突破性进展。目前已接近国外先进水平。

2．3金刚石膜研究现状和工业化应用

20余年来，CVD金刚石膜研究已经取得了非常大的进展。金刚石膜的内在质量已经全面达到最高质量的天然IIa型金刚石单晶的水平(见表1)。在金刚石膜工具应用和热学应用(热沉)方面已经实现了，产业化，一些新型的金刚石膜高技术企业已经在国内外开始出现。光学(主要是军事光学)应用已经接近产业化应用水平。金刚石膜场发射和真空微电子器件、声表面波器件(SAW)、抗辐射电子器件(如SOD器件)、一些基于金刚石膜的探侧器和传感器和金刚石膜的电化学应用等已经接近实用化。由于大面积单晶异质外延一直没有取得实质性进展，n一型掺杂也依然不够理想，金刚石膜的高温半导体器件的研发受到严重障碍。但是，近年来采用大尺寸高温高压合成金刚石单晶衬底的金刚石同质外延技术取得了显著进展，已经达到了研制芯片级尺寸衬底的要求。金刚石高温半导体芯片即将问世。

鉴于篇幅限制，及本文关于超硬薄膜介绍的宗旨，下面将仅对金刚石膜的工具(摩擦磨损)应用进行简要介绍。

2．4金刚石膜工具和摩擦磨损应用

金刚石膜所具有的最高硬度、最高热导率、极低摩擦系数、很高的机械强度和良好化学稳定性的异性能组合(见表1)使其成为最理想的工具和工具涂层材料。

金刚石膜工具可分为金刚石厚膜工具和金刚石薄膜涂层工具。

2．4．1金刚石厚膜工具

金刚石厚膜工具采用无衬底金刚石白支撑膜(厚度一般为0．5mm～2mm)作为原材料。目前已经上市的产品有：金刚石厚膜焊接工具、金刚石膜拉丝模芯、金刚石膜砂轮修整条、高精度金刚石膜轴承支架等等。

金刚石厚膜焊接工具的制作工艺为：金刚石自支撑膜沉积→激光切割→真空钎焊→高频焊接→精整。金刚石厚膜钎焊工具的使用性能远远优于PCD，可用于各种难加工材料，包括高硅铝合金和各种有色金属及合金、复合材料、陶瓷、工程塑料、玻璃和其它非金属材料等的高效、精密加工。采用金刚石厚膜工具车削加工的高硅铝合金表面光洁度可达V12以上，可代替昂贵的天然金刚石刀具进行“镜面加工"。金刚石膜拉丝模芯可用于拉制各种有色金属和不锈钢丝，由于金刚石膜是准各向同性的，因此在拉丝时模孔的磨损基本上是均匀的，不像天然金刚石拉丝模芯那样模孔的形状会由于非均匀磨损(各向异性所致)而发生畸变。金刚石膜修整条则广泛用于机械制造行业，用作精密磨削砂轮的修整，代替价格昂贵的天然金刚石修整条。这些产品已经在国内外市场上出现，但目前的规模还不大。其原因是：(1)还没有为广大用户所熟悉、了解；(2)面临其它产品(主要是PCD)的竞争；(3)虽然比天然金刚石产品便宜，但成本(包括金刚石自支撑膜的制备和加工成本)仍然较高，在和PCD竞争时的优势受到一定的限制。

高热导率(≥10W／em．K)金刚石自支撑膜可作为诸如高功率激光二极管阵列、高功率微波器件、MCMs(多芯片三维集成)技术的散热片(热沉)和功率半导体器件(Power ICs)的封装。在国外已有一定市场规模。

在国内，南京天地集团公司和北京人工晶体研究所合作在1997年前后率先成立了北京天地金刚石公司，生产和销售金刚石膜拉丝模芯、金刚石膜修整条和金刚石厚膜焊接工具及其它一些金刚石膜产品。该公司大约在2000年左右渡过了盈亏平衡点，但目前的规模仍然不很大。国内其它一些单位，如北京科技大学、河北省科学院(北京科技大学的合作者)、吉林大学、核工业部九院、浙江大学、湖南大学等都具有生产金刚石厚膜工具产品的能力，其中有些单位正在国内市场上小批量销售其产品。

2．4．2金刚石薄膜涂层工具

金刚石薄膜涂层工具一般采用硬质合金工具作为衬底，金刚石膜涂层的厚度一般小于30lxm。金刚石薄膜涂层硬质合金工具的加工材料范围和金刚石厚膜工具完全相同，在切削高硅铝合金时一般均比未涂层硬质合金工具寿命提高lO～20倍左右。在切削复合材料等极难加工材料时寿命提高幅度更大。金刚石薄膜涂层工具的性能与PCD相当或略高于PCD，但制备成本比PCD低得多，且金刚石薄膜可以在几乎任意形状的工具衬底上沉积，PCD则只能制作简单形状的工具。金刚石薄膜涂层工具的另一大优点是可以大批量生产，因此成本很低，具有非常好的市场竞争能力。

金刚石薄膜涂层硬质合金工具研发的一大技术障碍是金刚石膜与硬质合金的结合力太差。这主要是由于作为硬质合金粘接剂的Co所引起。碳在Co中有很高的溶解度，因此金刚石在Co上形核孕育期很长，同时Co对于石墨的形成有明显的促进作用，因此金刚石是在表面上形成的石墨层上面形核和生长，导致金刚石膜和硬质合金衬底的结合力极差。在20世纪80年代和90年代无数研究者曾为此尝试了几乎一切可以想到的办法，今天，金刚石膜与硬质合金工具衬底结合力差的问题已经基本解决。尽管仍有继续提高的余地，但已经可以满足工业化应用的要求。在20世纪后期，国外出现了可以用于金刚石薄膜涂层工具大批量工业化生产的设备，一次可以沉积数百只硬质合金钻头或刀片，拉开了金刚石薄膜涂层工具产业化的序幕。一些专门从事金刚石膜涂层工具生产的公司在国外相继出现。

目前，金刚石薄膜涂层工具主要上市产品包括：金刚石膜涂层硬质合金车刀、铣刀、麻花钻头、端铣刀等等。从目前国外市场的销售情况来看，销售量最大的是端铣刀、钻头和铣刀。大量用于加工复合材料和汽车工业中广泛应用的大型石墨模具，以及其它难加工材料的加工。可转位金刚石膜涂层车刀的销售情况目前并不理想。这是因为可转位金刚石膜涂层刀片的市场主要是现代化汽车工业的数控加工中心，用于高硅铝合金活塞和轮毂等的自动化加工。这些全自动化的数控加工中心对刀具性能重复性的要求十分严格，目前的金刚石膜涂层工具暂时还不能满足要求，需要进一步解决产品检验和生产过程质量监控的技术。

目前国外金刚石膜涂层工具市场规模大约在数亿美元左右，仅仅一家只有20多人的小公司(美国SP3公司)，去年的销售额就达2千多万美元。

国内目前尚无金刚石膜涂层产品上市。国内不少单位，如北京科技大学、上海交大、广东有色院、胜利油田东营迪孚公司、吉林大学、北京天地金刚石公司等都在进行金刚石膜涂层硬质合金工具的研发，目前已在金刚石膜的结合力方面取得实质性进展。北京科技大学采用渗硼预处理工艺(已申请专利)成功地解决了金刚石膜的结合力问题，所研制的金刚石膜涂层车刀和铣刀在加工Si-12％AI合金时寿命可稳定提高20-30倍。并已成功研发出“强电流直流扩展电弧等离子体CVD"金刚石膜涂层设备(已申请专利)。该设备将通常金刚石膜沉积设备的平面沉积方式改为立体(空间)沉积，沉积空间区域很大，可容许金刚石膜涂层工具的工业化生产。该设备可保证在工具轴向提供很大的金刚石膜均匀沉积范围，因此特别适合于麻花钻头、端铣刀之类细长且形状复杂工具的沉积。目前已经解决这类工具金刚石膜沉积技术问题，所制备的金刚石膜涂层硬质合金钻头在加工碳化硅增强铝金属基复合材料时寿命提高20倍以上。目前能够制备的金刚石膜涂层硬质合金钻头最小直径为lmin。目前正在和国内知名设备制造厂商(北京长城钛金公司)合作研发工业化商品设备，生产能力为每次沉积硬质合金钻头(或刀片)300只以上，预计年内可投放国内外市场。

3 类金刚石膜(DLC)

类金刚石膜(DLC)是一大类在性质上和金刚石类似，具有8p2和sp3杂化的碳原子空间网络结构的非晶碳膜。依据制备方法和工艺的不同，DLC的性质可以在非常大的范围内变化，既有可能非常类似于金刚石，也有可能非常类似于石墨。其硬度、d性模量、带隙宽度、光学透过特性、电阻率等等都可以依据需要进行“剪裁”。这一特性使DLC深受研究者和应用部门的欢迎。

DLC的制备方法很多，采用射频CVD、磁控溅射、激光淀积(PLD)、离子束溅射、真空磁过滤电弧离子镀、微波等离子体CVD、ECR(电子回旋共振)CVD等等都可以制备DLC。

DLC的类型也很多，通常意义上的DLC含有大量的氢，因此也叫a：C—H。但也可制备基本上不含氢的DLC，叫做a：c。采用高能激光束烧蚀石墨靶的方法获得的DLC具有很高的sp3含量，具有很高的硬度和较大的带隙宽度，曾被称为“非晶金刚石”(Amorphorie Diamond)膜。采用真空磁过滤电弧离子镀方法制备的DLC中sp3含量也很高，叫做Ta：C(Tetragonally Bonded Amorphous Carbon)。

DLC具有类似于金刚石的高硬度(10GPa-50GPa)、低摩擦系数(0．1一0．3)、可调的带隙宽度(1_2eV～3eV)、可调的电阻率和折射率、良好光学透过性(在厚度很小的情况下)、良好的化学惰性和生物相容性。且沉积温度很低(可在室温沉积)，可在许多金刚石膜难以沉积的衬底材料(包括钢铁)上沉积。因此应用范围相当广泛。典型的应用包括：高速钢、硬质合金等工具的硬质涂层、硬磁盘保护膜、磁头保护膜、高速精密零部件耐磨减摩涂层、红外光学元器件(透镜和窗口)的抗划伤、耐磨损保护膜、Ge透镜和窗口的增透膜、眼镜和手表表壳的抗擦伤、耐磨掼保护膜、人体植入材料的保护膜等等。

DLC在技术上已经成熟，在国外已经达到半工业化水平，形成具有一定规模的产业。深圳雷地公司在DLC的产业化应用方面走在国内前列。不少单位，如北京师范大学、中科院上海冶金所、北京科技大学、清华大学、广州有色院、四川大学等都正在进行或曾经进行过DLC的研究和应用开发工作。

DLC的主要缺点是：(1)内应力很大，因此厚度受到限制，一般只能达到lum～21um以下；(2)热稳定性较差，含氢的a：C-H薄膜中的氢在400℃左右就会逐渐逸出，sp2成分增加，sp3成分降低，在大约500℃以上就会转变为石墨。

5 碳氮膜

自从Cohen等人在20世纪90年代初预言在C-N体系中可能存在硬度可能超过金刚石的β-C>3N4相以后，立即就在全球范围内掀起了一股合成β-C3N4的研究狂潮。国内外的研究者争先恐后，企图第一个合成出纯相的β-C3N4晶体或晶态薄膜。但是，经过了十余年的努力，至今并无任何人达到上述目标。在绝大多数情况下，得到的都是一种非晶态的CNx薄膜，膜中N／C比与薄膜制备的方法和具体工艺有关。尽管没有得到Cohen等人所预测超过金刚石硬度的β-C3N4晶体，但已有的研究表明CNx薄膜的硬度可达15GPa-50GPa，可与DLC相比拟。同时CNx薄膜具有十分奇特的摩擦磨损特性。在空气中，cNx薄膜的摩擦因数为O.2-O.4，但在N2，CO2和真空中的摩擦因数为O.01-O.1。在N2气氛中的摩擦因数最小，为O．01，即使在大气环境中向实验区域吹氮气，也可将摩擦因数降至0.017。因此，CNx薄膜有望在摩擦磨损领域获得实际应用。除此之外。CNx薄膜在光学、热学和电子学方面也可能有很好的应用前景。

采用反应磁控溅射、离子束淀积、双离子束溅射、激光束淀积(PLD)、等离子体辅助CVD和离子注人等方法都可以制备出CNx薄膜。在绝大多数情况下，所制备薄膜都是非晶态的，N／C比最大为45％，也即CNx总是富碳的。与C-BN的情况类似，CNx薄膜的制备需要离子的轰击，薄膜中存在很大的内应力，需要进一步降低薄膜内应力，提高薄膜的结合力才能获得实际应用。至于是否真正能够获得硬度超过金刚石的B-C3N4，现在还不能作任何结论。

6 纳米复合膜和纳米复合多层膜

以纳米厚度薄膜交替沉积获得的纳米复合膜的硬度与每层薄膜的厚度(调制周期)有关，有可能高于每一种组成薄膜的硬度。例如，TiN的硬度为2l GPa，NbN的硬度仅为14GPa，但TiN／NbN纳米复合多层膜的硬度却为5lGPa。而TiYN／VN纳米复合多层膜的硬度竞高达78GPa，接近了金刚石的硬度。最近，纳米晶粒复合的TiN／SiNx薄膜材料的硬度达到了创记录的105GPa，可以说完全达到了金刚石的硬度。这一令人惊异的结果曾经过同一研究组的不同研究者和不同研究组的反复重复验证，证明无误。这可能是第一次获得硬度可与金刚石相比拟的超硬薄膜材料。其意义是显而易见的。

关于为何能够获得金刚石硬度的解释并无完全令人信服的定论。有人认为在纳米多层复合膜的情况下，纳米多层膜的界面有效地阻止了位错的滑移，使裂纹难以扩展，从而引起硬度的反常升高。而在纳米晶粒复合膜的情况下则可能是在TiN薄膜的纳米晶粒晶界和高度弥散分布的纳米共格SiNx粒子周围的应变场所引起的强化效应导致硬度的急剧升高。

无论上述的理论解释是否完全合理，这种纳米复合多层膜和纳米晶粒复合膜应用前景是十分明朗的。纳米复合多层膜不仅硬度很高，摩擦系数也较小，因此是理想的工具(模具)涂层材料。它们的出现向金刚石作为最硬的材料的地位提出了严峻的挑战。同时在经济性上也有十分明显的优势，因此具有非常好的市场前景。但是，由于还有一些技术问题没有得到解决，目前暂时还未在工业上得到广泛应用。

可以想见随着技术上的进一步成熟，这类材料可能迅速获得工业化应用。虽然钠米多层膜和钠米晶粒复合膜已经对金刚石硬度最高的地位提出了严峻的挑战，但就我所见，我认为它们不可能完全代替金刚石。金刚石膜是一种用途十分广泛的多功能材料，应用并不局限于超硬材料。且金刚石膜可以做成厚度很大(超过2mm)的自支撑膜，对于纳米复合多层膜和纳米复合膜来说，是无论如何也不可能的。

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