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    首台国产12英寸PECVD设备诞生

    沈阳拓荆科技有限公司承担的国家重大科技专项项目——90～65纳米等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的研发与产业化研制日前获得成功。这是我国自主开发研制的首台12英寸PECVD设备，标志着我国在

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    2022-8-8
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