将超表面透镜和MEMS技术相结合，或能为光学系统带来高速扫描和增强的聚焦能力。集成在MEMS扫描器上的基于超表面技术的平面透镜（超级透镜），左图为扫描电镜图片，右图为光学显微成像图片。在MEMS器件上

基于MEMS芯片的周界探测系统构成近些年随着安防报警技术的不断进步，各种依附于固体防护结构上的电子周界探测系统不断推陈出新，从最开始的主动红外探测技术、电子脉冲放电探测技术，一直发展到现在有各种各样针

罕王微电子8英寸MEMS芯片后端制造生产线顺利启动生产。据悉，MEMS芯片制造生产线计划在今年7月全线投产，达产后可实现晶圆产能36万片年。罕王微电子（辽宁）有限公司成立于2011年5月，2013年

如今的MEMS芯片及传感器市场，除了历史悠久的国际品牌，许多中国初创芯片公司也进入了大家的视野，这其中就包括2015年成立的西人马公司。虽然西人马在MEMS芯片及传感器领域起步较晚，但却走出了一条不同