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晶圓
技术
晶圓處理製程介紹
晶圓處理製程介紹基本晶圓處理步驟通常是晶圓先經過適當的清洗(Cleaning)之後,送到熱爐管(Furnace)內,在含氧 的環境中,以加熱氧化(OxidaTIon)的方式在晶圓的表面形成一層厚約數百
死链检查
2022-8-3
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