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引言我们展示了一个利用高质量的绝缘体上锗(GeO)晶片通过晶片键合技术制造的阿格非晶硅混合光子集成电路平台的概念验证演示。通过等离子体化学气相沉积形成的非晶硅被认为是传统硅无源波导的一种有前途的替代