SEM图像_内存溢出

技术

加速特征相关(FD)干法刻蚀的工艺发展

摘要：SEMulator3D中可视刻蚀特征提供了一种模拟与现实刻蚀腔室接近的刻蚀速率的方法。在干法刻蚀中，由于与气体分子的碰撞和其他随机热效应，加速离子的轨迹是不均匀且不垂直的（图1）。这会对刻蚀结果

真我的风采
2022-8-3
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