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集成光学发展初期，田炳耕曾对集成光学作了三条定义：（1）光波导能限制光束在其中传播。（2）利用光波导可制成各种光波导器件；（3）将光波导和光波导器件集成起来可构成有特定功能的集成光路。 集成光学在一开

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接上回的实验演示实验演示 非球面的制造包括以下步骤:1.光刻掩模的设计和图案到沉积在硅晶片上的氧化层的转移；2.KOH蚀刻以形成金字塔形凹坑；3.去除氧化物掩模并进一步各向异性蚀刻以形成非球面表面。我