微机电系统（MEMS）是一种紧凑型设备，在单个硅芯片上组合各种功能，如机械、光学、流体和电子，是医疗、运输和电信领域发展的主要支持技术。MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS压力传感器、MEMS开

现在微机电系统已经远远超越了“机”和“电”的概念, 将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制造在芯片上, 并通过与电路的集成甚至相互间的集成来构筑复杂微型系统.1

由于每一个人的食指骨架都是独一无二的，于是有研究人员想到了开发一种新型生物认证技术。由Yingying（Jennifer）Chen教授带领的美国罗格斯大学团队开发的这项技术，被叫做VibWrite。它

1 引言随着光通信技术的迅速发展，MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点，将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种

微机电系统（MEMS）在2010年增长强劲，和2009年的营业额相比增长了18.9%，根据市调机构IHS iSuppli最新调查显示，2012年到2014年MEMS都将维持两位数的增长。该机构认为iP

真空技术是现代科学技术的一个重要组成部分， 广泛应用于国民经济中的各个领域里，真空包装机则常被用于食品行业，因为经过真空包装以后，食品能够抗氧化，从而达到长期保存的目的。接下来小编简单说说用于真空包装

市场研究机构Yole Developpement公布最新前三十大微机电系统(MEMS)业者排名。受惠行动装置对动作感测器需求大增，意法半导体(ST)2011年MEMS 产品营收劲扬42%，突破9亿美元

1.引言微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段。本文分析了微纳机电系统的发

微机电系统(MEMS)是一种能够实现大的规模效益、优越的旋光性能以及降低电信光交换成本的必需技术。而当前，以OEO交换、SONET以及下一代SONET为基础的现有光架构的高度可靠性，已经为这种新的设备

1 系统原理与设计1.1 检测原理目前，常见的鼠标有2种，滚轮式和光电式。滚轮式鼠标是靠滚轮的传动带动X和Y轴上的译码轮转动，来感测鼠标位移的变化;光电式鼠标是用一个自带光源的光电传感器。而光电鼠标的

DIGITIMES Research指出，微机电系统(MEMS)惯性组件应用已起飞，目前尤以手机中的应用最被全球业者所看好，故业者将加速度计(Accelerometer)以及陀螺仪(Gyroscope

从运动检测、环境感知、压力测试，MEMS解决方案如今已经渗透到人们生活里。手机是MEMS应用最大的一块，最常见的就是加速度传感器，其他还有地磁仪、陀螺仪、压力和温湿度传感器，红外传感器，甚至UV传感器

11月28日，意法半导体（以下简称ST）今日在京举行2012年iNEMO校园设计大赛总决赛颁奖典礼，ST大中华暨南亚区微电机系统&传感器高级市场部经理吴卫东在会上表示，ST MEMS（微机电系统）技术

一级方程式赛车（F1）中的决胜因素是什么？是赛车手的技术，还是汽车技术？80年代，复杂的电子系统开始出现在一级方程式赛车中，这个长期争论的问题便上升到一个新的高度。如今，一级方程式锦标赛中的赛车实际上

柏林2021年12月3日 美通社 -- 由德国Arioso Systems GmbH研发的最新微型无线扬声器比传统的小十倍，并100%由硅制成。该公司是从德国弗劳恩霍夫光子与微系统研究所IPMS分

美国国家标准与技术研究所（NIST）日前展示一款采用微机电系统（MEMS）的延迟线内存控制器，可望作为未来量子电脑的暂存内存控制器。当MEMS中的内存控制器元素在触及以振幅与相位编码量子资讯的微波脉冲

据市场研究机构Yole Development的最新统计数据，2011年世界微机电系统（Micro Electro Mechanical systems，MEMS）市场规模达到了102亿美元，比201

意法半导体(ST)日前最新推出的微机电系统(MEMS)LPS001WP，该压力感测器成功实现智慧型手机以及其它可携式装置能够确定所在位置的海拔高度变化。该元件采用创新的感测技术，能够精确地测量压力和海