1 引言信息技术的发展早已渗透到国民经济的各个领域，而雷达技术自问世以来就已经在军事领域发挥着举足轻重的作用。为适应人造地球卫星及d道导d的观测要求，有源相控阵雷达技术获得了飞速发展。TR 组件波束

薄膜电路薄膜电路是将整个电路的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件以及它们之间的互连引线，全部用厚度在1微米以下的金属、半导体、金属氧化物、多种金属混合相、合金或绝缘介质薄膜，并通过真空蒸发、溅射和

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