半导体原材料清洗用纯水设备应用特点有哪些?

半导体原材料清洗用纯水设备应用特点有哪些?,第1张

1、工业纯水设备实行全自动、手动冲洗,EDI 装置无需化学再生,并节能回收

2、RO膜在机内可进行化学药物清洗

3、源水,纯水,超纯水箱液位实行全自动控制,高水位自动停机及自动清洗功能,低水位自动开机及前处理反冲洗功能。

4、多级高压泵缺水保护,高低压保护,二级RO浓水自动回用,并自动调节PH值。

5、失压、欠压、过流、过载、短路、断路、漏电保护。

DNS是厂商名字,中文叫迪恩士,就是化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,最后还有DI清洗。IPA是异丙醇,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。


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