
此外,硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外,还有很多制造工厂需要用到硅烷气,如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。
做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到。硅烷和笑气,长氧化硅时候用。
HCL:清洗wafer的时候用。
CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用。
SF6:蚀刻Si的时候用。
其他还有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蚀刻的使用。
有机硅烷 常用的有1 四甲基硅烷 (CH3)4Si
常用作试剂、航空燃料
2 甲基硅油
常用作介电液和热载体
油浴用的很多都是硅油
3 甲硅烷SiH4
常用作制半导体材料高纯度硅,以及硅氧烷等衍生物
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