
光刻正版是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
负版是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
不合格。太阳电池是将太阳能转换成电能的半导体器件,栅线是电池的重要组成部分,它负责把电池体内的光生电流引到电池外部。
研制太阳电池前总要预先进行栅线设计,制作出栅线的光刻板,栅线的尺寸是根据预先设定的电池参数(开路电压Voc、短路电流密度Jsc、最大工作点的输出电压Vm和输出电流密度Jm等)值设计的。栅线设计的优良与否,对电池片的影响很大。
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