；为什么半导体IC一般使用SiH4+N2O成膜；LPTS也基本上使用N2O 而液晶TFT-LCD一般使用SiH4+NH3成膜；

ic一般生成为P-SI, LTPS和TFT 一般是a-si， LTPS 再将a-si激光退火为P-si。SiH4+NH3生成物为a-si，SiH4+N2O产物为SIO2，用的不是同一层，IC,LTPS,TFT都有好多层。不同层不一样。

折射率与a-Si膜的含氢量、致密程度相关。一般随着含氢量的减少和致密度的提高，折射率增大。在太阳能电池应用方面，需要知道a-Si的折射率，以由于光学匹配方面的计算，比如用来确定后续减反射膜的膜厚和折射率等。

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