这时候，只要有这么一点点踌躇和犹豫，腿脚就会瘫软，导致无法攀登。即使过后拼命给自己打气，也只能是马后炮了。就这一步之差，命运就迥然不同。所以， 首先要坚定地相信自己“能行”，相信光明的未来必定到来。 同时，迎头碰击困难这一壁障，不气馁，不放弃，正面对抗。
带着这样的强大心灵不断前进时，我们逐渐就能看到以前完全无法看到的前进道路，理清走向成功所需的种种线索，曾经看起来远在天边的成功，不知不觉间就变得唾手可得。
在京瓷的创业期，我为了开拓新客户，带着部下到处闯，去各家企业做上门销售。然而，没有实绩、没有信誉、没有名气的小企业，去拜访客户，十有八九要吃闭门羹。尽管如此，我也决不放弃，不断低头恳求，想尽办法与对方见面。
▲ 27岁的稻盛和夫创立京瓷
虽然见了面，但对方往往会毫不留情地拒绝我们。反复遭遇这种情景，同行的年轻员工不免意气消沉，有时还因太过委屈而落泪。这种时候，为了鼓励部下，也为了振奋自己，我会这样激励他们：
“一两次碰壁就打退堂鼓，那怎么行？不管看起来眼前矗立的壁障有多高，首先要想‘一定能跨越’。如果用手触摸一下，搞不好就会发现这个壁垒不是石头砌成的，而是纸糊的。如果是纸糊的，戳破它就行了；如果是石头做的，只要思考如何攀登就可以了。不思考这些，说一声‘做不到’就放弃了，那只能说是怠惰了。”
觉得不行的时候才是工作的开始。正因为情况困难，所以才要相信局面必能打开，一味向前，这时候，命运之门就会开启。
不管面对多么困难的目标，都能最大限度地激发参与者的热情和能力，将“不可能”变为“可能”——这就是“愿望”所具有的力量。
所谓“愿望”，可以说就是在内心的画布上描绘出的想法、愿景、梦想和希望等，可以说是心灵活动本身，亦能说是由心灵活动所产生的意图或意志。
人的一切行动，都产生于“愿望”或者说“想法”，如果不“想”，任何事情都不可能在现实中出现。
接下来，如果要让心中描绘的“想法”变成现实，那么这种想法就不能仅仅停留在“如果变成这样就好了”的含混状态。“无论如何非这样不可！” 必须从内心深处产生强烈的愿望，具备不可动摇的意志，不断思考。不是这样的话，愿望根本就不可能实现。
只要怀抱强烈的愿望，并让这种愿望持续，那么，即使当时被认为根本不可能做到的事情，最终也能变为现实。
如果设定了高目标，并且真的想要达成的话，就必须怀抱“无论如何非实现不可”的强烈愿望，必须懂得，这种愿望中，蕴含着成就事物的伟大力量。
成功的秘诀只有一个，那就是“永不放弃”
京瓷从一家小小的街道工厂起步，逐渐引起国内外的瞩目，最后实现了飞跃性发展，其契机就是从IBM那里拿到了用于大型通用计算机中枢部分的零件的订单。
那是一个大订单，相当于当时京瓷年销售额的 1/4，而且是击败了德国的知名陶瓷公司后拿下的。我们欣喜若狂，举行了牛肉火锅派对加以庆祝。然而，这也是三年多炼狱般苦难的开始。
产品规格书上的品质标准与我们当时的技术水准相比，高出了一个数量级；尺寸的精度要求也超出我们当时标准的十倍以上。当时的京瓷，不仅没有生产这种产品的设备，甚至连测量成品性能的仪器也没有。
但是，我的斗争心开始熊熊燃起。因为这个订单不仅能让京瓷在国内外扬名立万，而且是一个绝好的机会，能让京瓷的技术能力提升至世界先进水平。我立誓“无论如何，一定要成功”。
我搬进了工厂，与员工们同吃同住，同时对作业的所有步骤、流程进行指导和监督。
▲ 京瓷于1963年设立的滋贺工厂
员工们连日连夜地辛苦工作。我一个一个地把精疲力竭的员工送出门，对他们说：“工作到这么晚，辛苦了，谢谢你。”但我的工作还没有结束。我往往会工作到深夜，经常是在拂晓前才回到工厂附设的宿舍里。
就是这样吃尽了苦头好不容易才交付的试制品，结果全部被打上“不合格”的标签并被退了回来。我们只好全部重做。
到底什么时候才能完成？这种状态实在令人煎熬。
在这样不断试错的过程中，员工们有时甚至因为实在想不出办法而懊恼地流下眼泪，但他们仍然坚持努力。
这样的辛苦努力到底还是开花结果了。接到订单 7个月后，我们终于拿到了无数次在梦里见到的合格通知。经历了代表世界水平的计算机公司的锤炼，生产出了他们认可的产品，这样的经验，为此后的京瓷带来了一种巨大的自信。
从那时起，京瓷通过持续研发，接连不断地推出新产品。如果要问我成功的秘诀，答案只有一个，就是“永不放弃”。
一旦着手研发，就要相信“一定能行”，中途不管遇到什么困难，出现何种巨大障碍，都决不放弃，勇往直前。这种态度会带来战胜一切困难的力量，将我们引向巨大的成功。
为了推动事物顺利发展，必须具备从内心涌现的安静平和又强烈无比的愿望。即使遭遇未曾预料的艰难险阻，感到绝望，也要能奋力爬起，继续朝着成就事业的方向，镇定地、反复不断地发起努力。 人必须具备这种不达目标誓不罢休的决心和永不放弃的精神。带着如此坚强的意志持续努力，不管做什么事业，都一定能“杀出一条血路”。
“再结晶宝石”事业就是一个案例。
京瓷自创业以来，以精密陶瓷技术为核心开展事业。为了实现企业的持续成长，在思考多元化战略时，我们选择将“再结晶宝石”作为切入点。
据说祖母绿宝石因为优质原石资源逐渐枯竭，市面上只有质次价高的东西。但如果使用我们长期积累下来的技术，就能制造出美丽的宝石，这让我们干劲十足。
实际上手了才知道，这实在不是随随便便能干成的事，而是极其困难的工作。尽管我们夜以继日地投入研发工作，但宝石结晶几乎没有丝毫进展。
虽然如此，但研发人员没有放弃。然而，当他们把好不容易做出来的产品拿给我看时，我发现那不过是比米粒还小的结晶颗粒。
这种迟迟不见进展的研发看不到前途，我们不知道什么时候才能制造出可以作为商品的结晶颗粒，实在让人煎熬。
但是，我不断鼓励员工们：“人的能力是无限的，让我们用‘将来进行时’看待自己的能力，持续迎接挑战吧！”
在此后的一段时间里，在扎扎实实、持续不断的研发之下，我们最后还是成功地让结晶“长大”了。我们制造出透明的大尺寸绿色六角柱状结晶体，将其中的结晶部分取出，就是再结晶祖母绿宝石了。这种宝石在色泽、辉度等方面可以说达到了最高级。
那是项目启动后第七年的事了。
扎实向前的人，终将获得上天的褒奖
抱有燃烧般的强烈的意志，心怀光明的希望，一步不停，踏实前行，那么，看起来山穷水尽之路，也会有登高望远、豁然开朗之时。那一瞬间，心中的所有烦恼和疑问全都会烟消云散。
我将此称为 “神灵的私语” 。可以这么说， 只有相信未来，一步一步扎实向前的人，才能获得上苍的这种“褒奖”。
在大学毕业就入职的那家公司里，我成功合成了用作显像管电视机绝缘零件的镁橄榄石这种材料。在批量生产时遇到的最大难题，就是如何让镁橄榄石成型。
要让陶瓷原料的粉末成型，就需要类似黏合剂的材料像搅拌面粉一样让粉末成型。但是，我怎么都找不到不含杂质的优质黏合材料。我把锅碗瓢盆搬进公司，基本住进了公司，连日连夜、不断试验，不断摸索。
有一天，我不知被什么东西绊了一下，一看鞋底，发现有东西粘在上面，那是实验用的石蜡，不知道是谁把它放在了走道上。我正想大喊“是谁放的”，就在那一瞬间，我的眼睛紧紧盯着鞋底，屏住气，脑海中闪过一个念头：用石蜡和原料粉末混合，再成型会怎样呢？
把这种成型的材料放在高温下烧制，因为用作黏合剂的石蜡被烧尽，不含杂质的产品便做成功了。
这就是所谓“神灵的私语”。拼命工作，埋头于研究，一心不乱。或许是可怜我，也可能是鼓励我，神灵伸出了援助之手——我禁不住这么去想，否则无法解释这种奇迹般的事情。
同样的事情，在创办京瓷后不久也发生过。
当时，在美国的一家半导体公司，有人给我看了两块重合的陶瓷薄板，问我能否开发制造这样的 IC 封装。
我们马上成立了项目组投入研发，但这项工作极其困难，远超预料。制造胶带状的陶瓷薄板是第一次，将其拼在一起烧结也是第一次。更何况还要在薄板上印刷输送电子信号的复杂电路。
在反复试验、不断摸索的过程中，一个灵感闪现：制造像“口香糖”一样的陶瓷薄板行不行呢？我想到，既然用过去凝固陶瓷粉末的方法行不通，试着制造口香糖那样柔软有黏性的陶瓷薄板怎么样？
此外，在想办法把电路印刷到这种薄板上时，京都西阵织的染坊发挥了作用。染坊使用的是“丝印”印刷技法。于是，我们将具有耐热性的金属粉末做成糊状，将其印刷到口香糖一样的陶瓷薄板上，并将多层薄板黏合到一起，用高温烧制。
通过这种方法制造出来的产品就是“陶瓷多层封装”。当时硅谷的半导体公司不约而同，都采用了这种产品，这让京瓷几乎处于垄断地位。京瓷持续生产和供应这个产品，并由此实现了飞跃性的发展。
这一产品的开发成功，也来源于我们多年培育出的挑战精神和不屈斗志，以及“天启般的灵感”，也就是“神灵的私语”。
怀抱对未来的希望，以光明之心，坚信梦想必能实现。这种信念成为强大的精神食粮，让现有的能力大大提升，将不可能变成了可能。
结语
对于经营者而言，必须具备决不放弃的强韧意志，具备不管面对何种状况都要找到活路的、不屈不挠的精神。 若非如此，就不可能把企业经营好。
在这个变化激烈的时代，如果缺乏“不管外部环境状况如何，都要达成目标”的、燃烧般的强烈的意志，企业就很难成长发展。
不管遭遇何种逆境，我们都必须看到美好的未来，相信自己的可能性，开动脑筋，竭尽智慧，不断探索解决之道。
说起稻盛和夫，大家肯定都有所耳闻，在它27岁时创立了京都陶瓷株式会社，在52岁的时候创办了日本第二大通讯公司——第二电信KDDI，现在仅次于我们所熟知的NTT公司。而且这两家公司在他的带领下，以惊人的速度和力道在成长，已经进入了世界500强，真的非常令人钦佩。在2010年，日本首相鸠山由纪夫为了拯救日本航空公司，出面邀请稻盛和夫出山，希望他能够拯救这个一度被视作“日本株式会社”战后经济繁荣的骄傲象征。稻盛和夫也不负所望，从2010年2月1日接手到2011年3月底，共计424天，他让日本航空扭亏为盈，甚至做到了3个“第一”——利润世界第一、准点率世界第一、服务水平世界第一。在稻盛和夫的领导下，日本的“翅膀”又可以重新展翅飞翔了。
也正因如此，他和松下幸之助（松下公司）、本田宗一郎（本田公司）、盛田昭夫（索尼公司） 齐名，被称为日本“经营四圣”，可以说是日本非常优秀的企业家。我的前东家——森马也对稻盛心学格外推崇，在入职考试的大纲里，“六项精进”是必考的内容；在经营模式上，也采用了“阿米巴”的经营模式。在公司两年时间里，让我对稻盛心学有了些许体会和感受。
很幸运的我在读过《活着》之后，还有机会看到它的续作《心·稻盛和夫的一生嘱托》。
在《活法》里，他向我们展现了他的人生观——提升心性，磨炼灵魂。人生在世，欲望总是难免的，如果意志不够坚定，被欲望所迷惑，而且放任这种本性不管的话，那么我们就会沉湎在追求财富、名利和地位的过程中无法自拔。但是这些往往都是身外之物，当死亡来临时，我们什么也带不走，能够带走的就只有我们的心性和灵魂。所以“如何让自己的灵魂在死亡的时候更纯洁一点，或者带着更美好、更崇高更崇高的灵魂迎接死亡”就是他的一生所求。
而在《心》这本书中，稻盛和夫老先生将它的稻盛心学发挥到了极致，这里有他的生活态度、哲学思想、还有伦理观。可以说是一本人生智慧的集合。在读书的过程中，内心仿佛受到了洗礼。
01|心是构筑人生的基础
人生中发生的一切事情，全都是由我们的内心吸引过来，塑造出来的。刚开始，我并没有什么触动，甚至觉得这个论点太过于唯心主义，看完松下幸之助先生的故事，也就把他当做一个笑话，不过就在前几日，和父母去了趟寺庙烧香拜佛，正巧遇到主持在讲经，他说：“你今生受的罪，是你前世做下孽，你今生所享的福，是你前世为善所积累的福泽。所以你的心之所向，终将会影响后世~“。听完之后，我的内心受到的触动，这不就正和稻盛和夫老的想法相契合嘛！
正所谓“种下什么因，就会受到什么样的果报”，如果你悲悲戚戚，抱怨处境，妒忌他人、憎恨社会，那么你的人生终将处在这种黑暗之中，无法看到阳光，那么也就是一个抱怨，妒忌，怨恨的人生~如果你乐观向上，积极应对苦难，并努力解决，那么你收获的也就是一个积极向上，有成就的人生。人的一生没有永远的一帆风顺，负面的情绪只会让我们进入恶性循环，请坦然接受命运，并为它全身心投入精力的时候，逆风也会变成了顺风~正视眼前的苦难的挫折，它能够磨炼我们的心灵，培养出积极应对的心，在人生道路上，它就是你前进路上的灯塔。
你也可以回望自己已经过去的人生中，是否有因为自己心态转变，就让事情变好，或者变得更糟的情况呢？所以不得不说心态对于我们来说也是非常重要的。
02|善意的动机才能够引导事业走向成功
我们总是渴望着成功，但是你的动机是什么呢？大部分的人总是想着自己能够赚很多钱，获得很多的名利。曾经内心肤浅的我就是这样想的。但是老先生的一句话“利他为动机发起的行动，比无此动机的行为，成功的概率更高，有时甚至会产生远超预期的惊人的成果。”却给了我一记响亮的耳光，也让我受用一生。利他即有用，我们听到很多的社群运营的书中，总是会提到利他，利他其实就是对他人有帮助，那么这样才能够让粉丝能够关注和追随~
这就是为什么大V能够将内容做起来，因为他们能够自己为你提供有价值的东西，比如制作视频免费教你剪辑、画画、写字、PS等内容，让你“白嫖”，这对粉丝非常有用，所以就能看到粉丝数蹭蹭蹭地上涨；有的创作者，通过剽窃他人的知识产权内容在网络上传播，也不回答粉丝问题，虽然也圈了一波粉，但没有系统，不完整的输出终究会让他失去民心。
又比如说淘宝直播大咖们，因为有一颗利他之心，帮助粉丝筛选优品，谈价格，拿到足够的优惠，因此大家也乐意在直播间里为他们付费；但有些直播人自己都没有使用过产品，就开始信口雌黄，将产品说得天花乱坠，而且价格也不美丽，还吐槽看客们不消费。
在这两种情况的对比中，我们不难发现，做到了利他，事情也逐渐向着好的方向发展，成功不是偶然的，只有做到利他，别人才会帮助你，才能让你接触到更多的机遇和可能，所以保持一颗善良利他的心，世界也会变得越来越清明。
03|永不言弃，塑造强大之心
书中稻盛和夫老先生说起创立京瓷之初，没有订单也没有销售额，企业没有效益，后来接到了大订单，但因为质量问题，并没有办法及时交货。在这样的冲击下，换做是我，内心早就已经崩溃了，但是稻盛和夫带领的京瓷却没有放弃，为了提高效益，全公司上下员工一起接受了这项挑战任务，甚至自己也加入到研发的队伍中，凌晨回宿舍休息，随心后又回来工作，经过7个月的研发，最终生产出了令客户满意的新产品。
就是这样迎难而上，跨越一切障碍的信心和勇气，才帮助稻盛和夫的京瓷和KDDI走进了世界五百强，这种精神不仅适用于企业，其实在日常生活和工作中，我们也要将其沿用，我们面对困难，不要被它吓倒，尝试着去解决它，清楚它，把它当做成功路上的垫脚石。
人的一生中，总要有那么几次，需要付出超过常人的努力，坚定走向那个全新的自己，就像六项精进里说的“付出不亚于任何人的努力”，就算失败流泪，但是也无愧于心。
《心：稻盛和夫的一生嘱托》不仅帮助我们提高心性，让我们找回了那个纯洁的，充满真善美的内心，也告诉我们如何绽放自己的潜能，获得幸福~稻盛和夫的一生真的绚烂无比，我们很难企及，但是我们只要向书中所说的那样，一心想着美好的方向前进，你一定会有美好的未来。真的是让我深受鼓舞，获益良多
碳化硅陶瓷—光刻机用精密陶瓷部件的首选材料jensoil
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近几年，光刻机的确是个热词，不论业内业外，都对其非常关注，“有井水处即有光刻机”说的毫不夸张。据说有位半导体领域的专家去理发时，理发小哥也会滔滔不绝的和他交流光刻机。
而在材料领域，碳化硅的“火”有过之而无不及，其本身作为一种优良的陶瓷材料，性能与应用不断地被的开发，尤其是随着集成电路的快速发展，碳化硅作为第三代半导体材料更是一跃成为最受瞩目的材料之一。
光刻机和碳化硅之间又有什么神秘关系呢？
这还要从刚才讲到的集成电路说起。集成电路产业(即IC产业)是关乎国家经济、政治和国防安全的战略产业，在IC产业中，集成电路制造装备具有极其重要的战略地位。集成电路关键装备的发展除先进设计、精密控制技术外，关键零部件制备技术制约也是严重影响集成电路先进制造装备国产化进程的一大问题。
12英寸硅片用碳化硅真空吸盘
关键零部件具有举足轻重的作用，要求结构件材料具有高纯度、高致密度、高强度、高d性模量、高导热系数及低热膨胀系数等特点，且结构件要具有极高的尺寸精度和结构复杂性。例如在高端光刻机中，为实现高制程精度，需要广泛采用具有良好的功能复合性、结构稳定性、热稳定性、尺寸精度的陶瓷零部件，如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射镜、导轨等。
碳化硅陶瓷正是光刻机用精密陶瓷部件的首选材料！
碳化硅陶瓷具有高的d性模量和比刚度，不易变形，并且具有较高的导热系数和低的热膨胀系数，热稳定性高，因此碳化硅陶瓷是一种优良的结构材料，目前已经广泛应用于航空、航天、石油化工、机械制造、核工业、微电子工业等领域。
但是，由于碳化硅是Si-C键很强的共价键化合物，具有极高的硬度和显著的脆性，精密加工难度大；此外，碳化硅熔点高，难以实现致密、近净尺寸烧结。因此，大尺寸、复杂异形中空结构的精密碳化硅结构件的制备难度较高，限制了碳化硅陶瓷在诸如集成电路这类的高端装备制造领域中的广泛应用。目前只有日本、美国等少数几个发达国家的少数企业(如日本的Kyocera、美国的CoorsTek等)成功地将碳化硅陶瓷材料应用于集成电路制造关键装备中，如光刻机用碳化硅工件台、导轨、反射镜、陶瓷吸盘、手臂等。
碳化硅工件台
光刻机中工件台主要负责完成曝光运动，要求实现高速、大行程、六自由度的纳米级超精密运动，如对于100nm分辨率、套刻精度为33nm和线宽为10nm的光刻机，其工件台定位精度要求达到10nm，掩模硅片同时步进和扫描速度分别达到150nm/s和120nm/s，掩模扫描速度接近500nm/s，并且要求工件台具有非常高的运动精度和平稳性。故需满足以下要求：
工件台及微动台(局部剖面)示意图
(1)高度轻量化：为降低运动惯量，减轻电机负载，提高运动效率、定位精度和稳定性，结构件普遍采用轻量化结构设计，其轻量化率为60%~80%，最高可达到90%；
(2)高形位精度：为实现高精度运动和定位，要求结构件具有极高的形位精度，平面度、平行度、垂直度要求小于1μm，形位精度要求小于5μm；
(3)高尺寸稳定性：为实现高精度运动和定位，要求结构件具有极高的尺寸稳定性，不易产生应变，且导热系数高、热膨胀系数低，不易产生大的尺寸变形；
(4)清洁无污染：要求结构件具有极低的摩擦系数，运动过程中动能损失小，且无磨削颗粒的污染。
碳化硅陶瓷方镜
光刻机等集成电路关键装备中的关键部件具有形状复杂、外形尺寸复杂以及中空轻量化结构等特点，制备此类碳化硅陶瓷零部件难度较大。目前国际主流集成电路装备制造商，如荷兰ASML，日本NIKON、CANON等公司大量采用微晶玻璃、堇青石等材料制备光刻机核心部件——方镜，而采用碳化硅陶瓷制备其他简单形状的高性能结构部件。中国建筑材料科学研究总院的专家们却采用专有制备技术，实现了大尺寸、复杂形状、高度轻量化、全封闭光刻机用碳化硅陶瓷方镜及其他结构功能光学零部件的制备。
碳化硅光罩薄膜
日前在韩国的一场半导体交流活动中，ASML韩国营销经理MyoungKuyLee透露，公司将开始供应透光率超90%的薄膜，以提升EUV光刻机的效率。ASML2016年首次开发出光罩薄膜，当时的透光率是78%。随后在2018年，薄膜透光率提升到80%，去年提升到85%。
薄膜用于保护光罩免受污染，单价2.6万美元左右（约合人民币16.78万元）。
另外，韩国企业FST、S&STech也都在紧张开发EUV光刻机所需的薄膜，FST此前预期上半年开始供应90%透光率的碳化硅薄膜。
碳化硅陶瓷精密结构部件制备工艺
中国建材总院在近净尺寸成型工艺——凝胶注模成型的基础上，开发出用于制备新型大尺寸、复杂形状、高精度碳化硅陶瓷部件的工艺技术。
碳化硅陶瓷部件制备工艺流程图
该制备流程中的关键工艺包括凝胶注模成型工艺、陶瓷素坯加工工艺和陶瓷素坯连接工艺。其中，凝胶注成型工艺是制备碳化硅陶瓷部件的基础，该工艺是一种精细的胶态成型工艺(Colloidalprocessing)，可实现大尺寸、复杂结构坯体的高强度、高均匀性、近净尺寸成型，自上世纪90年代以来在特种陶瓷材料制备领域获得了广泛的研究。陶瓷素坯加工工艺可以实现复杂形状陶瓷部件的快速、低成本、精密制造，有效提高陶瓷部件的尺寸精度及表面光洁度。陶瓷素坯连接工艺则可以实现中空陶瓷部件的制备，主要采用陶瓷粘结剂将陶瓷单体部件进行连接获得整体中空部件。
产业竞争格局
目前国外在集成电路核心装备用精密陶瓷结构件的研发和应用方面走在前列的公司有日本京瓷、美国CoorsTek、德国BERLINERGLAS等，其中，京瓷和CoorsTek公司占据了集成电路核心装备用高端精密陶瓷结构件市场份额的70%。
京瓷及CoorsTek制造的高端陶瓷零部件具有材料体系齐全、性能优异、结构复杂、加工精度高等特点，所制造的精密陶瓷结构件几乎涵盖了现有结构陶瓷材料体系，如氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮化铝等；结构件的应用领域也几乎覆盖了全部集成电路核心装备，形成了一系列型号齐全、品种多样的精密陶瓷结构件产品，如美国CoorsTek公司能够提供光刻机专用组件、等离子刻蚀设备专用组件、PVD/CVD专用组件、离子注入设备专用组件、晶片吸附固定传输专用组件等一系列产品；京瓷能够提供光刻机、晶圆制造设备、刻蚀机、沉积设备（CVD、溅射）、LCD等装备用精密陶瓷结构件。我国在集成电路核心装备用精密陶瓷结构件的研发和应用方面起步较晚，在大尺寸、高精度、中空、闭孔、轻量化结构的结构陶瓷零部件的制备领域有诸多关键技术问题有待突破。
结束语
碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能(如高强度、高硬度、高d性模量等)、优异的高温稳定性(如高导热系数、低热膨胀系数等)以及良好的比刚度和光学加工性能，特别适合用于制备光刻机等集成电路装备用精密陶瓷结构件，如用于光刻机中的精密运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等。
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