靶材的分类及应用方向？

一、根据不同材质靶材可分为：金属靶材，陶瓷（氧化物、氮化物等）靶材，合金靶材。二、根据不同应用方向可分为（了解）1、半导体关联靶材：电极、布线薄膜：铝靶材，铜靶材，金靶材，银靶材，钯靶材，铂靶材，铝硅合金靶材，铝硅铜合金靶材等。储存器电极薄膜：钼靶材，钨靶材，钛靶材等。粘附薄膜：钨靶材，钛靶材等。电容器绝缘膜薄膜：锆钛酸铅靶材等。2、磁记录靶材：垂直磁记录薄膜：钴铬合金靶材等。硬盘用薄膜：钴铬钽合金靶材，钴铬铂合金靶材，钴铬钽铂合金靶材等。薄膜磁头：钴钽铬合金靶材，钴铬锆合金靶材等。人工晶体薄膜：钴铂合金靶材，钴钯合金靶材等。3、光记录靶材：相变光盘记录薄膜：硒化碲靶材，硒化锑靶材，锗锑碲合金靶材，锗碲合金靶材等。磁光盘记录薄膜：镝铁钴合金靶材，铽镝铁合金靶材，铽铁钴合金靶材，氧化铝靶材，氧化镁靶材，氮化硅靶材等。

广东耐信镀膜科技有限公司成立于2012年，中外合资企业，注册资本人民币1000万元。本公司具有知识产权，自行研发制造独特的真空镀膜设备，为客户产品提供高端镀膜服务，镀制膜层：非晶钻石膜（ta-c、ADLC)，膜层特性：硬度高，摩擦系数低，结合力强，耐腐蚀， 生物兼容性优良 。

本公司专有技术为过滤电弧真空镀膜技术（DCVA），是指在真空条件下，采用低电压大电流的电弧放电使靶材蒸发，产生出离子、电子和溶化颗粒，离子和电子在过滤腔体的引导下被过滤出去，沉积在工件表面，形成镀膜；而溶化颗粒不能被过滤，沉积在腔壁和过滤腔体的入口处。同时，通过偏心阴极设计、环状靶材设计、新型磁体设计和新型电刷设计等四个方面的技术创新，解决了金属靶材在使用过程中容易产生凹坑，造成电弧熄火，使镀膜工艺无法连续进行的难题，实现了产业化，填补了国际空白。

广东耐信镀膜科技有限公司

地址：广州开发区科学城椈泉路3号广州国际企业孵化器D103

13539718544张杰

---