
划片机:
1、 型号:DISCO DFD6240SM
2、 产地:日本
3、 市场价格:260-370万元
4、 参数:
主轴配置:2.5KW
主轴转数:60000/min
最大切割尺寸:φ12"
X轴进刀速度:1200mm/S
Z轴有效行程:38.4
Z轴重复精度:0.00002mm
θ轴最大旋转角度:380度
5、 设备特点:
高机能自动校准
主轴中心给水
高刚性低振动主轴
12”大型工作盘
轴光/环光
双倍率显微镜头
非接触式测高
安全防护机制
刀具破损检知
对集成电路来说:一般来说4寸晶圆的厚度为0.520mm,6寸晶圆的厚度为0.670mm左右。晶圆必须要减薄,否则对划片刀的损耗很大,而且要划两刀。我们做DIP封装,4寸晶圆要减薄到0.300mm;6寸晶圆要减薄到0.320mm左右,误差0.020mm。
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