什么是半导体划片机

什么是半导体划片机,第1张

划片机:

1、 型号:DISCO DFD6240SM

2、 产地:日本

3、 市场价格:260-370万元

4、 参数:

主轴配置:2.5KW

主轴转数:60000/min

最大切割尺寸:φ12"

X轴进刀速度:1200mm/S

Z轴有效行程:38.4

Z轴重复精度:0.00002mm

θ轴最大旋转角度:380度

5、 设备特点:

高机能自动校准

主轴中心给水

高刚性低振动主轴

12”大型工作盘

轴光/环光

双倍率显微镜头

非接触式测高

安全防护机制

刀具破损检知

对集成电路来说:一般来说4寸晶圆的厚度为0.520mm,6寸晶圆的厚度为

0.670mm左右。晶圆必须要减薄,否则对划片刀的损耗很大,而且要划两刀。我们做DIP封装,4寸晶圆要减薄到0.300mm;6寸晶圆要减薄到0.320mm左右,误差0.020mm。


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