半导体行业超纯水质量会有哪些要求?

半导体行业超纯水质量会有哪些要求?,第1张

 超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

超纯水是一种除了水分子以外,没有细菌、病毒、矿物质微量元素、有机物质的水,超纯水由超纯水设备制取,那么超纯水设备的主要用途有哪些呢?

超纯水的电阻率可达18

MΩ*cm(25℃),用超纯水设备制取处理的纯水可应用于电子行业、食品工业、饮料用水、酿酒工业、电池工业、玻璃用水、医疗行业、超纯材料和超纯试剂的生产等领域。

超纯水设备采用的是水的预处理技术、EDI、反渗透技术、去离子水技术以及超纯化水处理等。

超纯水设备可采取一级RO、二级RO、二级抛光混床、EDI、抛光混床等水处理工艺制取出18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm的水质。

超纯水设备的优势在于:

1、采用可靠、技术先进、成熟的水处理工艺

2、技术先进,设备在运行时消耗的能量低、运行成本低且设备安全

3、可根据用户的需求定制每小时不同的产水量(0.25T/H、0.5T/H、1T/H.....1000T/H不等)。

4、设备设有自动化控制面板、检测仪器、自动报警装置

5、可制取电导率≤0.055 μS/cm 电阻率≥18.2 MQ-cm的水质

超纯水设备的主要用途有很多,主要是根据用户的用水对象,用水对象不同对于水的水质要求是不一样的,因此纯水设备采取的水处理工艺不同。


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