半导体线宽指的是什么

Q: 半导体线宽指的是什么 :

半导体线宽是指在半导体器件中物理上的线宽，它是指电子元件的芯片表面上的一条横向连续的路径，由于电子元件的尺寸有限，因此线宽的大小往往决定了电子元件的性能。

MOS工艺中最小线宽又叫特征尺寸，在设计时，常指的是MOSFET的栅极的长度L，理论上来说，栅极的长度就是它所控制的沟道长度（即漏极与源极之间的距离），但实际上，由于在源极与漏极进行掺杂时存在横向扩散，所以L其实是导电沟道的长度，在标准MOS工艺中，往往栅极会把沟道整个盖住，所以栅长是比沟道长度稍大一些的。

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