在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚

只是会增加热阻，你放东西进去加热效果会变得很差。当然如果你套得非常非常紧的话，加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发生燃烧，石英坩埚因受热不均可能会导致出现裂缝 。石英坩埚可在1650度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单 石英坩埚晶硅，是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。2、不能和HF接触，高温时，极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。3．石英坩埚适于用K2S2O7，KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。4．石英质脆，易破，使用时要注意。5．除Hf外，普通稀无机酸可用作清洗液。石墨坩埚的主体原料，是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸，碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性。石墨坩埚，因具有以上优良的性能，所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。

(1)由于石英玻璃具有优良的耐高温性能，因此被广泛应用于冶金、化工等工业需要耐高温的设备中。 (2)广泛应用于核工业和航空航天领域中，火箭、飞船的观察窗及保温外壳就是用石英玻璃制作的。 (3)由于石英玻璃在高温下的化学稳定性，是其他工程材料无法比拟的，因此被广泛应用于化工、制药等工业中。 (4)由于石英玻璃耐高温且透过率高，因此被广泛应用于国防军工以及新型电光源等高科技领域。 (5)由于石英玻璃具有极佳的光谱特性，不仅可以透过可见光，而且可以透过红外线、紫外线，因此被广泛应用于微电子、信息、激光及天文学中，光导纤维就是用石英玻璃制成的。 (6)因采用连续熔化工艺制造的小口径透明或不透明石英玻璃管成本低廉，但又不失耐高温的特性，所以被大量用于对石英玻璃品质要求不太高的电光源行业和远红外发热器上. (7)因石英玻璃的高纯度、耐高温、低的热膨胀性等优良性能而被大量用于电子工业的生产中，如在对单晶硅片进行掺杂、扩散、氧化、退火等关键工序中使用的石英玻璃扩散管；硅片外延工序使用的石英钟罩；硅片酸洗和超声波清洗工序使用的花篮、支架；硅片扩散工序使用的硅片承载器(石英玻璃舟)；拉制单晶硅工序中使用的石英坩埚等都是用石英玻璃制成的。 (8)为防止污染，提高产品的纯度，在多晶硅生产中用的精馏塔、挥发器(鼓泡器)以及进料管大都采用石英玻璃制造。

半导体石英加热应力原理是指当半导体石英片受到电场的作用时，其内部电子处于活动状态，会产生热量，而热量产生的加热会导致石英片内部产生应力，这种应力会使石英片变形。根据查询相关公开信息显示，石英片变形可以用来测量物体的力矩和应力。

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