
风扇接线:将风扇的接线端子按照黑、绿、白和黑的顺序将线依次接入,然后把风扇的黑色线接入半导体盘柜的黑色线;
灯泡接线:把灯泡的接线端子按照黑、绿(灰)、白的顺序将线依次接入,然后把灯泡的黑色线接入半导体盘柜的黑色线。
半导体布线形成方法及装置、器件制造方法及装置和晶片的制作方法技术领域:
本发明涉及半导体布线形成方法及装置、半导体器件制造方法及装置以及晶片,尤其涉及以在晶片上形成的沟内埋入的方式形成布线。
背景技术:
在VLSI领域中,实现了称为波纹装饰工艺的布线形成方法。通过该波纹装饰工艺在层间绝缘膜中形成接触孔、通孔(连接孔)等之后,通过在这些孔中填充铜,实现埋入层间绝缘膜中的布线系统。由此,得到布线无台阶、表面平坦化的IC,同时,以低电阻实现高可靠性的金属布线系统。
因此,在波纹装饰工艺中,通常,采用仅在层间绝缘膜中的布线沟等中填充铜的湿式镀。通过湿式镀,具有能在高长宽比的布线沟中填充铜的优点。
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