
半导体是这两年国家重点发展的行业,到底什么是半导体?
生活中所有的物体按照导电性大致可分为三类:导体、半导体、绝缘体。
这个很好理解,物体要么导电,要么不导电,要么有一点点导电,正是这种半推半就、不清不楚的物质给物理学家不同的发挥空间。
太绝对的导电和不导电的物质没什么意思,而在不同情况下导电性发生变化的东西才是有意思的。
来张图直观看看物体的导电性:
按照导电性便分为:
绝缘体: 电导率很低,约介于20-18S/cm 10-8S/cm,如熔融石英及玻璃;
导 体 :电导率较高,介于104S/cm 106S/cm,如铝、银等金属。
半导体: 电导率则介于绝缘体及导体之间。
自然界中常见的元素半导体有硅、锗,据说锗基半导体比硅基半导体还要更早发现和应用,但是硅的天然优势就是便宜!自然界中常见的沙石就含有大量的硅元素,你说有多多!
即使自然界中硅砂很多,但硅砂中包含的杂质太多,缺陷也太多,不能直接拿来用,需要对它进行提炼。
怎么提炼?一个字——烧!
正如初中化学所学的,进行氧化还原反应。
①SiC + SiO2 Si(固体)+ SiO2(气体)+ CO(气体)
②Si(固体)+ 3HC SiHCl3(气体)+ H2(气体)
③SiHCl3(气体)+ H2(气体) Si(固体)+ 3HCl(气体)
经过三次高温化学反应后,我们得到了固体硅,但这时候的硅是多晶硅。
啥是多晶硅?
如同我们剥橘子的时候,里面有很多瓣橘子(多晶橘子),而且不同瓣的橘子味道不一样(晶体方向),我们要选味道最好的一瓣橘子,选出来让这瓣橘子单独长大!
怎么让一个小的单晶单独长大呢?
物理学家还是很聪明的,发明了一种长单晶的办法,叫柴可拉斯基法,可能方法就是以这名科学家名字命名的。
行业也有一种直观的称呼,叫提拉法!
因为在长单晶时就是把小的晶体往上拔!拔的时候速度有点慢,来看看这个装置:
图中的这个蓝色的圆棒就是单晶硅,在提拉的时候一边旋转一边往上拔,提拉法长出来的晶锭就是圆柱体了。
再将长好的晶锭采用机械刀片进行切割,切成一片一片的圆盘状,便成了晶圆。
有没有很眼熟?
晶圆就是这样被生产出来了。
虽然我们得到了晶圆,此时的单晶硅电化学性能还不行,不能直接用来做芯片,工程师们于是想办法改造单晶硅的电化学性能。
如何改造单晶硅呢?
先深入了解一下硅元素,在元素周期表中,硅排列在第14位,硅原子最外层有4个电子,分别与周围4个原子共用4对电子,这种共用电子对的结构称为 共价键 (covalent bonding)。每个电子对组成一个共价键。
这部分知识初中化学学过,来张图片直观看看:
左边这张图是单晶硅的晶体结构,为金刚石晶体结构。右边这张图是硅原子共用电子的情况,中间一个硅原子和四个硅兄弟共用电子。
突然有一天,有个物理学家想到一个问题,要是硅家不是和硅兄弟共用电子,把其他兄弟拉进群会怎样?
物理学家有一天把砷兄拉进了群,于是奇迹发生了:
砷兄弟最外层有5个电子,其中4个电子找到了硅家的对象,另外一个电子单着了,这个电子成了无业游民,到处流窜,由于电子带有电荷,于是改变了硅家的导电性。
此时的砷原子多提供了一个电子给硅家,因此砷原子被称为施主。
硅家的自由电子多了以后,带负电的载流子增加,硅变成n型半导体。
为啥叫N型?在英文里Negative代表负,取这个单词的第一个字母,就是N。
同样,物理学家想,既然可以拉电子多的砷元素进群,那么是否也可以拉电子少的硼原子进群?于是物理学家把硼原子拉进来试试。
由于硼原子最外层只有3个电子,比硅少一个,于是本来2对电子的共价键现在成了只有一对电子,多了一个空位,成了带正电的空穴(hole)。
此时的硅基半导体被称为p型半导体,同样P来自英文单词Positive(正极)的首字母,而硼原子则被称为受主。
正是在硅单晶中加入的原子不同,便形成了N型半导体和P型半导体。
当我们有了单晶硅,并且可以想办法将单晶硅表面氧化成二氧化硅。二氧化硅可作为许多器件结构的绝缘体,或在器件制作过程中作为扩散或离子注入的阻挡层。
如在 p‒n 结的制造过程中,二氧化硅薄膜可用来定义结的区域。
来张示意图看看,(a)显示无覆盖层的硅晶片,正准备进行氧化步骤,图(b)只显示被氧化晶片的上表层。
有了P型和N型半导体的理论知识,还可以玩点复杂的,对二氧化硅表面进行改造,改造成我们想要的图形,比如画只猫,画朵花等…
对晶圆表面进行改造的办法就是光刻!
光刻那不是要用到高端光刻机?听说这种设备很牛逼….不如先看看光刻的原理:
利用高速旋涂设备(spinner),在晶片表面旋涂一层对紫外(UV)光敏感的材料,称为光刻胶(photoresist)。将晶片从旋涂机拿下之后在80ºC 100ºC之间烘烤,以驱除光刻胶中的溶剂并硬化光刻胶,加强光刻胶与晶片的附着力。接下来使用UV光源,通过一有图案的掩模版对晶片进行曝光。然后,使用缓冲氢氟酸作酸刻蚀液来移除没有被光刻胶保护的二氧化硅表面。最后,使用化学溶剂或等离子体氧化系统剥离(stripped)光刻胶。
看看示意图:
文字说的有点复杂,直观理解有点像刻印章,先在石头上用颜料涂个模型,然后按照模型的尺寸进行雕刻,基本是这个道理。
印章有阳刻和阴刻的区别,晶圆也是这样,根据光刻胶的选取不同,也能实现阳刻和阴刻,人们选用的光刻胶称为正胶和负胶。
光刻后的硅表面暴露于外界中,此时物理学家在这个硅表面通过不同方法加入其它元素,称为离子注入。
因为注入B或者As离子以后,这些离子加入到硅家以后改变了硅家的传统,硅的电化学性能发生了改变,此时的半导体叫做非本征(extrinsic)半导体。
而由P型半导体和N型半导体接触形成的结称为p-n结!
我们在掺杂完成以后,需要想办法将这个半导体的性能引出,于是将这个半导体表面金属化,欧姆接触(ohmic contact)和连线(interconnect)在接着的金属化步骤完成,金属薄膜可以用PVD或CVD来形成。
随着金属化的完成, p‒n 结就可以工作了!
简单的半导体知识就介绍这么多吧!
半导体是介于导体和绝缘体之间的一种物体。有硅,锗等。它的神奇之处是在给与一定外部条件时,导电性能会大幅度增加。用这些材料做成的二极管,三极管的基础上又产生了大规模集成电路,直至现在是计算机等电子产品都是基于半导体材料基础的。没有半导体的出现,计算机的小型化以及很多高科技产品是出现不了的。将芯片越做越薄,一直都是科学家们的梦想。
但我们都知道,现有的 硅晶体 已经越来越接近物理极限。
想要从“纳米级”突破到“原子级”,只能靠二硫化钼等 超薄半导体材 料来帮忙。
近日,来自瑞士巴塞尔大学的研究人员宣布,他们成功在二硫化钼材料上加入了 超导体触点 ,从而展示与硅晶体类似的特性。
这次实验的成功, 验证了超薄半导体材料制造半导体元器件的可行性 。
本次实验由Andreas Baumgartner博士领导,其领导的研究小组计划将一些具有半导体性质的天然材料层叠形成三维晶体,再与超导体结合起来,继而探究新材料的特性。
在实验开始,研究人员先将 二硫化钼分离成单独的层 ,这些单层的厚度不超过一个分子。
接着,研究人员像“制作三明治”一样在 单层的二硫化钼两侧加入两层薄薄的氮化硼 。在手套箱中的保护性氮气保护下,研究人员将氮化硼层堆叠在二硫化钼层上,并将底部与另一层氮化硼以及一层石墨烯结合。
然后,研究人员将这种复杂的范德华异质结构(一种特殊的三维结构) 放置在硅/二氧化硅晶片的顶部 。
这样就堆叠出一个 类似于半导体元件的全新合成材料 。
在堆叠完成后,研究人员开始在绝对零度以上(-273.15摄氏度)的低温下进行实现观察。
最后他们发现,在超低温的条件下,超导电测量清楚地显示了超导引起的效应;例如,单电子不再被允许通过。此外,研究人员还发现了半导体层和超导体之间存在强耦合的迹象。这些特性与目前半导体芯片的物理特性十分相似。
研究项目经理鲍姆加特纳解释说:“在超导体中,电子将自己排列成成对,就像舞伴一样,产生了奇怪而奇妙的结果,比如电流的流动没有电阻。另一方面,在半导体二硫化钼中,电子表演一种完全不同的舞蹈,一种奇怪的独舞,也包含了它们的磁矩。现在,如果我们把这些材料结合起来,我们想亲自看到这奇异的舞蹈。”
简单来说, 本次实验验证了超薄半导体材料代替硅晶体的可行性 ,为下一代半导体制造器件提供了新的思路。
如今的芯片制程工艺,已经完成了5nm的突破,科学家们发力向1nm的极限冲刺,今年5月6日,IBM率先宣布造出2nm芯片,顿时让整个半导体圈子欢欣鼓舞。
但由于摩尔定律的存在,即使单位面积容纳的晶体管数量逐步提前,但是效能无法得到显著提升,在硅晶片的物理特性即将达到极限的背景下,1nm工艺像一座大山挡在硅技术面前。
此外,在目前的先进制程里,都需要绝缘体的存在,他们存在的意义是要协助电子能顺利通过晶体管里的通道,当制程持续向下走,通道势必越来越小,晶体管之间的串扰会很大,芯片的效能表现也会大打折扣。
例如一颗5nm工艺材料的芯片里,已经塞下太多的晶体管, 一旦电子黏在芯片内部的氧化物绝缘体上,就会导致电流不易通过,最终引起功耗增加、芯片发热等问题 。
这也是为什么我们会吐槽台积电和三星5nm工艺纷纷“翻车”, 因为这真的太考虑后期的打磨 。
既然三维的材料会让电荷依附在上面,那么用二维材料作为替代品,可以完美避免电流通过的问题。
目前, 业内普遍采用二硫化钼作为二维超薄单层材料 ,这也是被认为是突破硅晶片小型化限制的最有力替代品。
事实上,除了此次瑞士巴塞尔大学的研究以外,学术界早已在二维材料连接上有所突破。
早前,麻省理工学院(MIT)的孔静教授领导的国际联合攻关团队宣布与台大、台积电共同完成合作,使用原子级薄材料铋(Bi)代替硅,有效地将这些2D材料连接到其他芯片元件上。
当铋(Bi)材料被作为二维材料的接触电极时,可以大幅度降低电阻并且提升电流 。
正如前文所说,金属和半导体材料之间的界面会产生了一种叫做金属诱导的间隙(MIGS)状态现象,抑制电荷载体的流动。而属于半金属的铋(Bi)材料,电子特性介于金属和半导体之间,可以有效消除了电荷流通的问题。
目前,台积电技术研究部门已经开始“铋(Bi)沉积制程”技术的研究,这项研究已经成为未来1nm工艺的突破所在。
通过这项技术,研究人员可以设计出具有非凡性能的微型化晶体管,可以有效满足了未来晶体管和芯片技术路线图的要求。
超薄半导体材料的成功验证,给我们展现出下一代半导体的无限潜力 ,未来的计算机或者会随着超薄半导体材料的成熟展现出全新的姿态。
同时我们也要看到,台积电、IBM都在积极抢占1nm先进制程工艺。
关于下一代半导体的竞争已经悄然开始 。
欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
微信扫一扫
支付宝扫一扫
评论列表(0条)