半导体材料专家梁骏吾院士逝世,他都取得过哪些成就?

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发布讣告

根据媒体的报道来看,在2022年6月23日的时候,中科院半导体所发布讣告:中国工程院院士、中国科学院半导体研究所研究员、我国著名半导体材料学家梁骏吾先生因病医治无效 在北京逝世,享年89岁。消息一出,梁骏吾院士生前的同事朋友以及一众网友们纷纷在社交平台上表示哀悼,说为我国曾有这样一位伟大的半导体材料专家而感到骄傲与自豪,为他的离开而感到遗憾。

科研成就

梁骏吾于1955年从武汉大学物理专业毕业后,前往前苏联留学并获得了副博士的学位后,回国担任了中国科学院半导体研究所副室主任,后一直在为高纯硅研制工作而努力,并获得了1964年国家科委颁发的国家科技成果二等奖,由他研制的硅无坩埚区熔提纯设备获了1964年国家科委全国新产品二等奖。在1965年的时候他首次研制成功了中国国内第一只室温脉冲相干激光器用的砷化镓外延材料,为后续的发展奠定了坚实的基础。在20世纪80年代的时候他首创了掺氮中子嬗变区熔硅单晶,获得了1988年中科院科技进步一等奖,完成了硅中杂质以及外延中气体动力学与热力学耦合计算及微机控制光加热外延炉。

多项荣誉

纵观梁骏吾院士的一生,可以看到他为我国的半导体材料的研制和发展付出了毕生的精力和心血,在他从事半导体材料科学研究工作这六十多年里面,他获得了多项荣誉,如1992年的时候获得了国家级有突出贡献中青年专家称号,在1997年的时候被评为中国工程院院士,先后荣获国家科委科技成果二等奖和新产品二等奖各1次,国家科技进步三等奖1次、中科院重大成果和科技进步一等奖3次、二等奖4次,上海市科技进步二等奖1次等各种科技奖共20余次。

利用掺杂硅与单晶硅的熔点差异来提纯的。

简单说一块粗硅圆柱体置于惰性气体环境中,中间套一个加热环,加热到硅的熔点附近,加热环从硅圆柱体一段开始,含杂质的硅熔点较低,呈熔融状态,然后加热环缓慢的向另一端移动,这时候杂质会随着加热环的移动向一段移动,后面的硅重新结晶得到单晶硅。

最后杂质集中到硅棒一段,整个硅棒就提纯了。反复多次进行,就可得到极高纯度的单晶硅。

旋转提拉的过程中,在固液界面上杂质在两相中重新分配,绝大多数都留在了液相里,于是上面就形成了高纯度的单晶硅硅锭。这样就从99.99%的硅制得99.99999999(好多9)%的硅单质。

目前国际上能生产电子级高纯硅的国家不多,欧美和日本相对比较发达。在我国研制并生产电子级高纯硅的有陕西黄河水电和江苏鑫华半导体。

工业角度中因为生产体量大,在保证其品质的基础上有成本与盈利方面的压力,所以对工艺流程要求的更严苛。具体的技术细节一般为各公司核心机密,是受到严格管控的。


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