半导体工艺废气如何处理？

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半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

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半导体废气处理

废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

不同的行业都会产生VOCs，主要行业包括：餐饮业（北京餐饮业对油烟、颗粒物、非甲烷总烃排放标准都有限定，是全国最为细致，也最为严格的城市；家具制造业（广东为最早制定该行业挥发性有机物排放标准的城市，其次是天津、北京）、包装印刷业（各地不仅对苯、甲苯、二甲苯、非甲烷总烃4项基本的污染物指标的排放浓度和排放速率进行了限定，北京、天津、河北、广东等4地将甲苯+二甲苯总浓度设置为限定指标，替代单一的甲苯和二甲苯排放浓度限值，可 *** 作性和实用性更强）、制鞋业（根据当地环境管理的需要只有浙江、广东、福建三个地区单独制定了本省/市的制鞋业挥发性有机物排放标准，且较国家标准更为严格，限定的挥发性有机污染物种类更多、更细致、更全面）、电子工业（只有北京、天津、陕西、四川等4个地区根据当地环境管理的需要单独制定了本省/市的电子工业挥发性有机物排放标准，且较《大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）》更为严格）等。

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