半导体的制作过程中，哪些工艺要用到金属钛？

Ti的附着力很强，它的

硅化物

导电性

好、耐热性能好，主要用作为电极接触金属。特别是在多层电极接触技术中，往往用它作为第一层材料。在有的

自对准技术

中也采用Ti。

半导体散热器，我们认为这个应该是钛合金的，会更加的好点，而且这个散热性阴道会更难好一点，橡胶的话应该是没有办法达到一个散热的效果的，而且我认为这个应该它的保温效果应该还是非常不错的，所以我认为最好还是使用钛合金会更好一点的

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