半导体过滤器行业PPM的指标

试剂规格基本上按纯度（杂质含量的多少）划分，共有高纯、光谱纯、基准、分光纯、优级纯、分析和化学纯等7种。国家和主管部门颁布质量指标的主要优级纯、分级纯和化学纯3种。

1、优级纯：又称一级品或保证试剂，99.8%，这种试剂纯度最高，杂质含量最低，适合于重要精密的分析工作和科学研究工作，使用绿色瓶签。

2、分析纯：又称二级试剂，纯度很高，99.7%，略次于优级纯，适合于重要分析及一般研究工作，使用红色瓶签。

3、化学纯：又称三级试剂，≥99.5%，纯度与分析纯相差较大，适用于工矿、学校一般分析工作。使用蓝色（深蓝色）标签。

根据高纯试剂工业专用范围的不同，可将其分为以下几种：

1、光学与电子学专用高纯化学品，即电子级试剂试剂。

2、金属-氧化物-半导体电子工业专用高纯化学品，即UP-S级或MOS试剂（读作：摩斯试剂）。

一般用于半导体，电子管等方面，其杂质最高含量为0.01-10ppm，有的可降低到ppb数量级，金属杂质含量小于1ppb，尘埃等级达到0-2ppb，适合0.35—0.8微米集成电路加工工艺。

3、单晶生产用高纯化学品。

4、光导纤维用高纯化学品。

高效过滤器安欧洲地区分级制度EN1822分为E10，E11，H12，H13，H14，U15，U16，U1785%,95%,99.5%以此类推。H14过滤精度就是99.995%U15是99.9995%。超高效空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.1微米和0.3微米的有效率达到99.7%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。　HEPA过滤器特点：滤芯用超细玻璃纤维滤料经打胶折叠而成，外框可选用夹层木板、不锈钢板及铝合金板，通过聚氨酯胶紧密粘接，具有质量轻、透气量大。它对直径为0.3微米(头发直径的1/200)以上的微粒去除效率可达到99.99%以上，是烟雾、灰尘以及细菌等污染物最有效的过滤媒介。(抽烟产生的烟雾颗粒直径为0.5微米)。经广泛运用于手术室、动物实验室、晶体实验和航空等高洁净场所。超超高效空气过滤器(ULPA) ULPA(Ultra Low Penetration AirFilter)全称为超超高效空气过滤器，或称超低穿透率空气过滤器，对0.1~0.2μm的微粒、烟雾和微生物等尘埃粒子的过滤效率达到99.999%以上。ULPA超高效过滤网，ULPA是在HEPA的基础上经进一步加强了HEPA的过滤效果,ULPA对0.3微米以上的微粒子的过滤效率达到99.9999%以上。ULPA与HEPA相比，滤料结构更紧凑、过滤效率更高。ULPA过滤器过滤面积更大，容尘能力更强。 　ULPA过滤器特点：滤芯用超细玻璃纤维滤料经打胶折叠而成，外框可选用不锈钢板及铝合金板，通过聚氨酯胶紧密粘接，具有质量轻、透气量大，集尘率高达99.95-99.999%,且耐碱,耐高温。用途：适用于10000级-100级洁净系统，空调系统，因此产品已广泛应用于电子、微电子、半导体、光器件、生物和医药线路、照相机和光学仪器、精密机械等多个领域。

洁净车间级别五个等级：

1、100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。

2、10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。

3、1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。

4、100级很多人认为，这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求。

5、10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。

洁净车间的主要情况

1、洁净车间，亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。

2、在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的 *** 作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

3、洁净车间洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准。

---