做SIMS测试要注意哪些问题?需要我提供哪些信息给测试方?

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对于SIMS测试这块的话,还是建议你去跟测试方沟通一下,就是你说的那个柯西数据的客服。因为不同的设备,对样品的测试要求不一样,一般大部分都要求非磁性样品,当然了可能部分设备也可以接受磁性。还有,有些测试方要求把样品的结构也要描述出来,样品的厚度等信息,所以还是要看测试公司的要求。你去联系一下他们的客服,他们都会告诉你相关信息的。

SIMS。半导体的掺杂浓度,比如说掺硼、掺磷、掺砷、掺铝这些扩散,都是用D-SIMS测的。因为D-SIMS对应的叫动态匹配,低浓度到高浓度的范围还是比较广的。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用。

当然有人在用,先纠正你一下,SIMS 全称是 secondary ion mass spectrometry

SIMS是质谱中的一种,适合用于表面分析,尤其在半导体表面分析、地质勘探等领域广泛使用。

介绍一下SIMS原理: 通过具有一定能量的一次离子束轰击待分析样品表面,样品表面的分子发生溅射得到二次离子。随后,E二次离子通过萃取电极进入质量分析器分离后到达检测器,最终得到样品的质谱图。


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