
SIMS是质谱中的一种,适合用于表面分析,尤其在半导体表面分析、地质勘探等领域广泛使用。
介绍一下SIMS原理: 通过具有一定能量的一次离子束轰击待分析样品表面,样品表面的分子发生溅射得到二次离子。随后,E二次离子通过萃取电极进入质量分析器分离后到达检测器,最终得到样品的质谱图。
欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

SIMS是质谱中的一种,适合用于表面分析,尤其在半导体表面分析、地质勘探等领域广泛使用。
介绍一下SIMS原理: 通过具有一定能量的一次离子束轰击待分析样品表面,样品表面的分子发生溅射得到二次离子。随后,E二次离子通过萃取电极进入质量分析器分离后到达检测器,最终得到样品的质谱图。
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