
火加工岗位一个重要的制造工序,根据半导行业的特殊要求石英制品的加工必须在达 到一定洁净要求的 室内进行加工作业。它采用焊q设备燃烧氢氧气产生高温火焰,对石英制品进行热 加工作业,大多数产 品都依靠手工作业完成。
半导体工厂机加工:
1.使用外延炉等设备,进行气体纯化、四氯化硅精馏,在单晶片上生长单晶层;
2.使用高温炉,在半导体晶体表面制备氧化层,使杂质由晶片表面向内部扩散或进行其他热处理;
3.使用离子注入设备,将掺杂材料的原子或分子电离加速到一定的能量注入到晶体,并退火激活;
4.使用气相淀积设备,在衬底表面淀积一层固态薄膜;
5.使用光刻机在半导体表面掩膜层上刻制图形;
6.使用机械加工等设备,对晶片加工形成器件台面,并对表面作钝化保护;
7.使用电镀设备,对晶片、半导体器件、集成电路、电级材料的某些部位进行镀覆。
电腐蚀是发生在发电机槽部定子线棒防晕层表面和定子槽壁之间因失去电接触而产生的容性放电,从而引起线棒表面的腐蚀和损伤·容性放电:这种容性放电的放电能量比纯电晕放电要大得多,严重时发展为火花放电.火花放电温度可高达摄氏几百度至上千度.同样,放电使空气电离产生的臭氧与空气中的氮,水分产生化学作用,对线棒表面和铁芯产生腐蚀.电腐蚀轻者,使线棒防晕层及主绝缘表面变白并有不同程度的蚕食严重者防晕层损坏,主绝缘外露或出现麻点,引起线棒表面防晕层乃至主绝缘,垫条的烧损.这种引起线棒防晕层,主绝缘,垫条等损伤的情况统称为"电腐蚀".
内腐蚀:根据电腐蚀产生的部位分外腐蚀和内腐蚀.外腐蚀指发生在防晕层和定子槽壁之间的电腐蚀内腐蚀是指发生在防晕层和主绝缘之间的电腐蚀.内腐蚀的原因是由于线棒的表面防晕层与线棒主绝缘之间粘接接触不好,存在微小空气气隙的缘故,如主绝缘表面不平整,半导体漆没有浸透或半导体漆本身的问题等.随着发电机制造技术的发展,"内腐蚀"基本上已成为了一个历史名词
防护措施:防止电腐蚀的措施有:①定子槽内在下线前喷低阻半导体漆.②选择合适的低阻半导体垫条,打紧槽楔,保证线棒直线部分表面防晕层的完好,使线棒表面防晕层与垫条或铁芯壁有良好的接触.③改进线棒槽内固定方式.④改进制造工艺水平,如线棒的尺寸和平直度,铁芯的制造和叠片公差等.良好的线棒制造工艺和整机制造水平是减少电腐蚀发生的有力保证.
目前我国在线棒防晕和防止电腐蚀方面有了长足的进步,如主绝缘和防晕层同时热压成型,半导体适型毡工艺,线棒采用半导体槽衬槽内固定等.
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