mems是什么意思

mems即微机电系统（英语：MicroelectromechanicalSystems，缩写为MEMS）也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的 *** 作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。

微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料，因此从制造技术本身来讲，MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工，并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。

首先这个问题和器件的类型相关，希望题主能把细节补充一下。这里我默认是MOSFET（晶体管）的情况。MIM结构实际就相当于一个电容。而晶体管的工作，主要是靠电压来调控半导体材料的导电性来实现的。而对于金属，由于其费米能级处于导带内，外加电压很难起到调制载流子的作用。因此MOSFET的开关特性只有在MIS结构下才成为可能。

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