真空泵是用来干什么的

真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。。

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构，立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

扩展资料

干式机械真空泵的应用：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

参考资料来源：百度百科-真空泵

参考资料来源：百度百科-干式真空泵

　分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的，两个是同级的。但两个泵又各有不同的优点和缺点，所以在市场上两者是并存的。

1：分子泵体积小，耗能小，对真空室的污染比较小。但是相比扩散泵，分子泵的抽气速度比较低，维护成本比较高(精密)。

2：扩散泵可以设计为很大的抽速，购置成本比较低。但是扩散泵体积比较大，能耗高，会对真空室有很重的油污染，一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高)，不环保。

按趋势来讲，高真空泵还是向分子泵方向在发展，但是由于分子泵叶片转速很高，所以对轴承有很高的要求，国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好，国外的分子泵价格又过高，所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵。只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵。

JZJS罗茨水环真空机组是以罗茨泵为主泵，以水环泵为前级泵串联而成的。罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，它克服了单台水环泵使用时极限压力差（机组的极限压力比水环泵有很大的提高），在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。尤其能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。当配有防爆电机及电器时并遵守相应的安全规则下,还可抽除易燃易爆的气体。因此罗茨泵-水环泵机组广泛地用于化工行业中的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶；食品行业中的冷冻干燥；医药工业的真空干燥；轻纺工业的涤纶切片；高空模拟试验等的抽真空系统中。

罗茨水环真空机组，大致有如下几种类型：

（1）罗茨泵-水环泵：机组中水环泵的作用是造成罗茨泵所需的预备真空，一般情况，单级水环泵极限真空度不高，而目前我国生产的罗茨泵要求的预真空又较高，故实际上一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵，而用极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用，还可以降低机组的极限压力。

一台罗茨泵与一台水环泵的极限压力是400Pa，可满足一般的真空需求，但使用范围受到一定限制，若用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就能大大提高机组的极限压力（可达25Pa）。故在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵（图1）组成机组。如果需要更高的极限压力，可用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可达1Pa。

（3）如果三级罗茨水环机组还不能满足极限压力时，可采用罗茨泵-水环泵并联机械真空泵；此机组主要用于需要处理大量水蒸汽，时间长且极限真空度要求非常高的抽真空系统，例如在真空干燥方面。

要求处理大量水蒸汽的真空系统中，使用水环泵是较合适的，但由于其极限真空度不高，致使整个机组的极限真空度较低（相对而言）。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中，需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。可将气镇机械真空泵与水环泵并联（如图2），作为罗茨泵的前级泵。真空干燥时，先用水环泵进行预抽，直至水蒸汽大量减少时，再开动气镇机械真空泵，切断水环泵。如需要较长时间才能完成干燥的场合，所需冷却水和功率都较少，如图2所示。

JZJX罗茨旋片真空机组是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。罗茨旋片真空机组选用旋片泵作为前级泵，它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，同时保留了罗茨泵能迅速工作，有较大抽气速率的优点。因该机组结构紧凑、抽速大、占地面积小，可以代替多台机械真空泵,因此罗茨泵-旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无爆炸性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的以及不含有颗粒尘埃的气体。

WLZJ无油往复罗茨真空机组以ZJ罗茨泵为主泵，以WLZ型方式无油泵为前级泵串联而成，由于WLZ型真空泵采用无油自润滑系统，可获得洁净真空，因此在加装尾气收集装置后，可以收集在高真空系统中无法凝固、无法压缩收集的气体，同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放。

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