CMP为何周边速率快

因为化学反应增强了。

加速质量传输是CMP获得完美表面的关键，化学反应是CMP过程的控制因素，增强化学反应可提高CMP速率。

CMP技术是半导体工艺中不可缺少的重要工艺。

现在缩写词汇急剧增多,很多缩写都有很多完全不同的意思,CMP也不例外.计算机:Chip multiprocessors,单芯片多处理器,也指多核心电子:Chemical Mechanical Planarization,化学机械平坦化综合布线：Plenum Cable，天花板隔层电缆计算机:CMP是由美国斯坦福大学提出的，其思想是将大规模并行处理器中的SMP（对称多处理器）集成到同一芯片内，各个处理器并行执行不同的进程。与CMP比较， SMT处理器结构的灵活性比较突出。但是，当半导体工艺进入0.18微米以后，线延时已经超过了门延迟，要求微处理器的设计通过划分许多规模更小、局部性更好的基本单元结构来进行。相比之下，由于CMP结构已经被划分成多个处理器核来设计，每个核都比较简单，有利于优化设计，因此更有发展前途。目前，IBM 的Power 4芯片和Sun的 MAJC5200芯片都采用了CMP结构。多核处理器可以在处理器内部共享缓存，提高缓存利用率，同时简化多处理器系统设计的复杂度。电子:化学机械平坦化是半导体工艺的一个步骤，该技术于90年代前期开始被引入半导体硅晶片工序，从氧化膜等层间绝缘膜开始，推广到聚合硅电极、导通用的钨插塞（W-Plug）、STI（元件分离），而在与器件的高性能画同时引进的铜布线工艺技术方面，现在已经成为关键技术之一。虽然目前有多种平坦化技术，同时很多更为先进的平坦化技术也在研究当中崭露头角，但是化学机械抛光已经被证明是目前最佳也是唯一能够实现全局平坦化的技术。进入深亚微米以后，摆在CMP面前的代表性课题之一就是对于低介电常数材料的全局平坦化。

1、胞嘧啶核苷酸，缩写CMP。为嘧啶核苷酸之一，RNA的构成成分。天然存在的有5′-胞苷酸（胞苷-5′-磷酸）。RNA碱解可生成2′-胞苷酸（胞苷-2′-磷酸）和3′-胞苷酸（胞苷-3′-磷酸）。

2、化学机械研磨，晶圆制造中，随着制程技术的升级、导线与栅极尺寸的缩小，光刻技术对晶圆表面的平坦程度的要求越来越高，IBM公司于1985年发展CMOS产品引入，并在1990年成功应用于64MB的DRAM生产中。

3、单芯片多处理器，由美国斯坦福大学提出的，其思想是将大规模并行处理器中的SMP（对称多处理器）集成到同一芯片内，各个处理器并行执行不同的进程。

4、CMP（Campaign Management Platform），营销活动管理平台，基于数据仓库数据基础之上，利用NCR的一个TCRM产品做的一个分析应用。

5、CMP，是Common Middle Point的缩写，即CMP道集，是指把不同炮集中拥有共中心点的道抽取出来，形成一个新的集合。

扩展资料

与CMP比较， SMT处理器结构的灵活性比较突出。但是，当半导体工艺进入0.18微米以后，线延时已经超过了门延迟，要求微处理器的设计通过划分许多规模更小、局部性更好的基本单元结构来进行。

相比之下，由于CMP结构已经被划分成多个处理器核来设计，每个核都比较简单，有利于优化设计，因此更有发展前途。

参考资料来源：百度百科-胞嘧啶核苷酸

参考资料来源：百度百科-化学机械研磨

参考资料来源：百度百科-单芯片多处理器

参考资料来源：百度百科-CMP（管理平台）

参考资料来源：百度百科-CMP 

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