半导体工厂往往是洁净室但成本太高，想问下有没有什么廉价的清洁控制方法可以使空气中的颗粒灰尘大幅度减

照着洁净室的要求去做一些规范吧，

不一定要洁净室的全部设备的，

有些工厂有很好的设备，可是工人素质跟不上，室内环境还是很差，落尘度很高。

尽可能的隔离室内环境，使用空气交换过滤设备，地板上蜡，多使用粘尘布，工人使用防静电服装并尽量保持干净， *** 作动作要小，戴口罩头套，设备的锈迹和油漆沫都要小心清理。

另外产品在加工过程中一般都要吹等离子风扇，去静电的，产品带静电的话容易粘尘，影响很大。室内湿度也要控制。

“负离子空气净化器”这种东西是生活电器，功率很小，指标很低，是满足不了工业环境的需求的。工业中用的是那种设备类似于大空调。

楼主你要改善的话应该从成本低和易于实现的开始实行，直到目标达成为止。

半导体车间是无尘车间。

电子制造业无尘车间洁净室的特点:洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。

其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。

一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。

对身体有害。

半导体产业属于重污染企业，工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟，这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。

由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等，这些溶液主要是有机物质，因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中，会有大量的有机溶剂被使用，其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等，其中苯就是高毒性的一级致癌物。

半导体工厂对有害物质实施的措施

为了防止这些污染伤害员工、污染环境，半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施，包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料。

尤其是快速发展的亚微米工艺对生产现场的空气洁净度要求特别高，所有半导体加工设备都必须放置在与灰尘隔离的封闭空间中，即为洁净室。

洁净室的洁净度有一个公认的标准，以10类为例，是指在单位立方英寸的洁净室空间内，平均只有10个粒径在0.5微米以上的粉尘，所以Class数越少，清洁度越好，当然成本也越贵。同时，也是洁净室设备厂商保证洁净空间安全、舒适、节能、高效。

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